超精密平面研磨加工参数对精度的影响-Core.PDFVIP

超精密平面研磨加工参数对精度的影响 Influence of Ultra-precision Plane Lapping Parameter on Accuraly ① ① ② 张 　翊 　郭隐彪 　庄司克雄 ( ①厦门大学物理与机电工程学院 　②日本东北大学) 摘 　要 :通过分析超精密平面研磨加工中放射线结构和螺线结构研磨轮的运动数学模型可得出如下结论 :在 通常加工条件下 ,放射线结构研磨轮受加工动压的影响小于螺线结构研磨轮。文中通过对两种结构 研磨轮不同加工参数的研磨加工实验表明 :采用放射线结构研磨轮可以提高工件的形状精度及减小 表面粗糙度值。 关键词 :超精密平面研磨 　微粒金刚石研磨轮 　精度 　粗糙度 　加工参数 　　为了改善冷却液工作状态 ,减小加工动压的影响 , 1 　绪言 [4 ] 现在研磨轮多数采用了开槽式结构设计 。但是 ,对 　　对于以单晶硅为代表的半导体基板 、工业陶瓷及 于研磨轮表面结构和研磨加工精度、粗糙度之间关系 光学玻璃等硬、脆材料的高精度加工 ,现在一般采用游 的研究还没有一个定性的研究结论。本文主要研究超 离磨粒研磨及抛光法。但是 ,这些加工方法在得到高 精密平面研磨加工中 ,微粒金刚石研磨轮的不同沟槽 精度镜面的同时也带来了加工效率低和环境污染等诸 结构及加工速度变化对加工面精度的影响。 多的问题。为了解决这些问题 ,现在国外厂家逐渐淘 2 　加工轨迹与精度 汰原来的游离磨粒研磨及抛光工艺 ,开始引进微粒金 刚石砂轮的磨削和磨粒固定的超精密平面研磨工 　　平面研磨主要是靠研磨轮和工件之间的相对运 艺[1 ] 。 动 ,加工压力来实现加工过程。图1所示为研磨轮和 平面研磨由于研磨轮和工件面接触 ,磨粒的有效 切削数较多 ,可以得到高的表面精度及加工效率。但 是 , 由于冷却液对加工点的供应困难,砂轮容易形成堵 塞 ;磨粒的切削深度小而切削长度增加 ,引起磨粒切削 刃磨损 ;冷却液形成的动压分布及其浮力的作用也影 响研磨加工的质量[2 ,3 ] 。 图 1 　研磨轮和工件运动关系 的工艺决策的环境适应性得到了极大的改善; 由于在 3 　肖伟跃CAPP 系统中工序工步排序研究的现状与发展 计算机辅 ( ) 决策前已经将待加工的特征组合起来 ,工艺决策时仅 助设计与制造 ,1999 3 ( 4 　刘丹等 CAPP 开发工具工艺决策建模的研究 清华大学学报 自然 仅将这些待加工的组合特征进行合理排序 , 因此工艺