超精密磨削辅助工作台及结构静动态特性研究!-中国科技论文在线.PDFVIP

中国科技论文在线 超精密磨削辅助工作台及结构静动态特性研究! ! ! ! 张大卫 ，田延岭 ，王杏华 ，高咏生 （ 天津大学机械工程学院，天津 ； 香港科技大学机械工程系，香港） !# $%%% # 摘 要：研制了一种基于高刚度’() 作动器的超精密定位工作台，其特点是采用弹性铰链预 紧和提供工作台侧向刚度，结构简单，动态响应速度快，分辨率高 为防止 作动器受到过 # ’() 大弯力作用和动平台弯曲变形，在动平台与’() 作动器间加入弹性缓冲环节和辅助弹性隔离 板# 另外，对工作台输入输出特性、静动态刚度和模态振型、以及受外力作用时产生的静态位 移误差进行了试验研究# 试验数据表明，该工作台可作为精密磨床的辅助工作台，极大地提高 机床的定位精度# 关键词： 作动器；精密定位工作台；动态特性 ’() 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） *+++ # ! , %-.$/!$ %% %-/%0%+/%0 对诸如半导体和光学等高精密器件的纳米级加 实现快速大行程进给和位置调整以及微量进给和精密 工，要求加工母机必须具备很高的结构静动态特性、纳 定位# 米定位精度，但传统的机械接触定位方式很难满足其 要求# ’() 作动器以其优秀的机械和物理性能，已被用 ! 结构设计与工作原理 ［，］ 来设计超精密定位系统 ! # 与传统的机械定位方法 相比，它具有分辨率和定位精度高，动态响应速度快， 所设计工作台的机械结构如图 所示 ! # 体积小、无发热问题和可全闭环反馈控制等特点# 动平台几何中心为’() 作动器的驱动点、由’() ［，］ $ - 作动器提供轴向刚度，由弹性铰链 或滚动导 ［，，］ 轨0 + 提供侧向刚度，是一类单坐标’() 定位工作台 ［］ 1 的典型结构 由于 作动器的轴向刚度远大于弹 # ’() 性铰链和滚动导轨对动平台提供的侧向刚度，因此，所 设计的工作台在综合静动刚度方面表现为动平台几何 中心附近区域内较大，而其他区域相对较小# 由于因侧 向刚度过小引起的动平台转动误差无法补偿，因此，研 究定位工作台的整体刚度匹配成为重要问题# 图 定位工作台 ! 作者设计并建造了一种用于精密磨削的纳米级定 #$ % ! #’() *)+#,#)-#-$ ,./01 位工作台，该平台采用弹性铰链预紧和提供工作台侧