基于双波长干涉的微表面开貌测量的算法和实验研究-光学工程专业论文.docxVIP

摘要随着微细加工技术的不断发展进步和微电路、微光学元件、微机械等微表面的不断出现，对微表团王维形貌测量技术也提出了更高的要求，迫切需要微表面三维形貌测量的技术。在众多微表面形貌测最方法中，相移干涉法以其高精度和非接触的优点，得到了广泛的应用。本文在相移干涉法基础上，提出了…种双波问\长干涉测量方法，该方法可以直接得到真实相位分布，不需要解包裹的过程。用双波长干涉测最重建微表团形貌的算法和实验是本文研究的关键。围绕这…主要飞内容，所做的主要工作如下z1.从干涉的基本原理出发，对相移干涉的基本理论进行了研究，在此基础上提出了一种利用双波长干涉的微表面形貌检测方法。研究了双波长干涉的相位提取算法，其关键是初始点的相位计算和判别。该方法不需要解包裹的过程，同时也避免了由相移器引入的附加误差。2月软件模拟了基于双波长干涉进行微表面检测的过程。首先建立理想工维物体模型，基于双波长干涉理论制作干涉图，利用本文提出的相位提取算法获取相位的真实值，获得了表团形貌。并且在干涉阁上加入不同程度的南斯噪声和椒盐噪商，来评估相位提取算法的可行性和鲁棒性。3.设计了基于双波长干涉策建物体表面形貌的系统。根据系统的要求，分别给出了针孔滤波系统，扩柬准直系统，干涉系统和数据接收系统的参数。4.搭建了基于双波长干涉重建物体表团形貌的实验系统，分别以平面反射镜和凹面反射镜为被测物，利用两个不同波长的激光器获得了双波长干涉图，利用本，。文提出的相位提取算法，提取了被测物的真实相位，获得了微表面的二维形貌。4从而从实验上证明了双波长干涉方法的可行性。1.;与句关键词z双波长干涉相位提取算法表面形貌相移干攒ABSTRACTWi白白edevelopmentofmiαo-fabricationtechnolOgy，批isnec创saryfOrmicrO-也r饵-dimensiOnalsurfaceme创町ement.Phase-shiftinginterferOmetryhasbeen圳dely剧创讪micrO侧rfacetOpographymωurementwi也theadvantagesOfhighprecisiOnandnOn-contact.In由ispap耐adua1-waveleng由interfc町ome仕ya1gOri也mwhichωnget也erea1phasedis创butiOndirectlywithOutunwrappingispresented.Theoretica1andexperimenta1s阳diesof也ea1gOrithmbasedOnthedua1wavelength\飞int配ferometryarethefOcusOn由isresearch.ThemainworkasfOllOwshasbeendOne飞如acωrdingtO也ismainωntent.BasedOntheinterference也eory，由eprincipleOfdua1-waveleng也interferew槌intrOduced.And也ephaseextractiOna1gOri由mbasedontwo俐wavelengthinterf时om创ryw础presented.四lisa1gorithmnOtOn1ygOtridofunwrappingbuta1sOavOid创伽eadditiOnalerrOrsfrOmph郁。刷fter.TheprOcessOfsurfacereωns甘uctionwassimu1at叫.Firstl弘也eidea1mOdelOfa伽饵-dimensiOnal01脚twasestablished，anditsinterfero伊msweremadebasedOnthedU2ιwavelengthintern配mωthωry.Then，也eva1ueofthephase佣nbeObtainedusingthea1gOrithmmentiOnedabOve.AdditiOna11y，differentlevelsOfGaussiannOise，saltandpeppernOisewereadded讪theinterferOgramsωana1yze也enoiseinsensitiveOfthea1gOri也m，and也eresultsshowed也atthea1gOri也mwωinsensitive伽伽esekindsOfnOisewhichprOvedthefeasibi1ityOfthea1gOri出m.Thesurfacemo叩hOlOgyreconstructiOnsystemwithdua1响velengthinterferOmetryw础des胁。d.AccordingtO伽actua1r，叫uirementsOf