电阻式位移传感器.pptVIP

电子发烧友 电子技术论坛 2、工作原理 压阻效应：半导体沿某一轴向受到应力而产生应变时，其电阻率发生变化，此现象为压阻效应。 一、基本工作原理 半导体电阻率的变化为： 电子发烧友 电子技术论坛 半导体电阻材料有结晶的硅和锗，掺入杂质形成P型和N型半导体。当硅膜比较薄时，在应力作用下的电阻相对变化为： 电子发烧友 电子技术论坛 二、温度误差及其补偿 压阻式传感器受到温度影响后，要产生零位漂移和灵敏度 漂移，因而会产生温度误差。 传感器灵敏度的温漂是由于压阻系数随温度变化而引起的。当温度升高时，压阻系数变小，传感器的灵敏度要降低，反之灵敏度升高。 零位温漂一般可用串、并联电阻的方法进行补偿。 电子发烧友 电子技术论坛 三、压阻式传感器举例 (一)半导体应变式传感器 常用硅、锗等材料作成单根状的敏感栅，其使用方法与金属应变片相同。因为 半导体应变片的灵敏系数为： 半导体应变片的突出优点是灵敏系数很大，可测微小应变。此外，尺寸小、横向效应和机械滞后也小。主要缺点是温度稳定性差和测量较大应交时非线性严重，必须采取补偿措施。此外，灵敏系数随拉伸或压缩而变，且分散性大。 电子发烧友 电子技术论坛 (二)压阻式压力传感器 在一块圆形的单晶硅膜片上, 布置四个扩散电阻, 组成一个全桥测量电路。 膜片用一个圆形硅杯固定, 将两个气腔隔开。一端接被测压力, 另一端接参考压力。当存在压差时, 膜片产生变形, 使两对电阻的阻值发生变化, 电桥失去平衡, 其输出电压反映膜片承受的压差的大小。 电子发烧友 电子技术论坛 压阻式压力传感器的主要优点是体积小, 结构比较简单, 动态响应也好, 灵敏度高, 能测出十几帕斯卡的微压, 它是一种比较理想, 目前发展和应用较为迅速的一种压力传感器。  这种传感器测量准确度受到非线性和温度的影响, 从而影响压阻系数的大小。 现在出现的智能压阻压力传感器利用微处理器对非线性和温度进行补偿, 它利用大规模集成电路技术, 将传感器与计算机集成在同一块硅片上, 兼有信号检测、 处理、 记忆等功能, 从而大大提高传感器的稳定性和测量准确度。 电子发烧友 电子技术论坛 (三)压阻式加速度传感器 恰当地选择传感器尺寸及阻尼率，用以测量低频加速度和直线加速度。 2019 ppt资料 * 欢迎批评指导！！ 快乐工作，快乐生活！ 感谢您的聆听！ ！ 式中: Rt——温度为t时的电阻值；  R0——温度为t0时的电阻值；  α0——温度为t0时金属丝的电阻温度系数；  Δt——温度变化值，Δt=t-t0。 当温度变化Δt时，电阻丝电阻的变化值为：  ΔRα=Rt-R0=R0α0Δt 2) 试件材料和电阻丝材料的线膨胀系数的影响 当试件与电阻丝材料的线膨胀系数相同时，不论环境温度如何变化，电阻丝的变形仍和自由状态一样，不会产生附加变形。 当试件与电阻丝材料的线膨胀系数不同时，由于环境温度的变化，电阻丝会产生附加变形，从而产生附加电阻变化。 设电阻丝和试件在温度为0℃时的长度均为l0, 它们的线膨胀系数分别为βs和βg，若两者不粘贴，则它们的长度分别为 ls=l0(1+βsΔt) lg=l0(1+βgΔt) 当两者粘贴在一起时，电阻丝产生的附加变形Δl、附加应变εβ和附加电阻变化ΔRβ分别为 由于温度变化而引起的应变片总电阻相对变化量为 因环境温度变化而引起的附加电阻的相对变化量，除了与环境温度有关外，还与应变片自身的性能参数（K0, α0, βs）以及被测试件线膨胀系数βg有关。 2. 电阻应变片的温度补偿方法 电阻应变片的温度补偿方法通常有线路补偿和应变片自补偿两大类。  1) 线路补偿法 电桥补偿是最常用且效果较好的线路补偿。 图 (a)是电桥补偿法的原理图。电桥输出电压Uo与桥臂参数的关系为： Uo=A(R1R4-RBR3) 式中, A为由桥臂电阻和电源电压决定的常数。由上式可知， 当R3和R4为常数时，R1和RB对电桥输出电压Uo的作用方向相反。 利用这一基本关系可实现对温度的补偿。 测量应变时，工作应变片R1粘贴在被测试件表面上，补偿应变片RB粘贴在与被测试件材料完全相同的补偿块上，且仅工作应变片承受应变, 如图 (b)所示。 当被测试件不承受应变时，R1和RB又处于同一环境温度为t的温度场中，调整电桥参数使