各系统规范-国家试验研究院.DOC

國家奈米元件實驗室 NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES print 案號：NDL-P-107120 頁 數 : PAGE1 OF NUMPAGES 7 購案名稱：磁性前期研究蝕刻設備氣體感測元件安裝 本文件為財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室專有之財產，非由書面許可，不准透露或使用本文件，亦不准複製或轉變成任何其他形式使用。 財團法人國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室 磁性前期研究蝕刻設備氣體感測元件安裝 招標規範書  招標規範書目錄 項目 頁 次 TOC \o 1-2 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc222629630 招標規範書目錄………………………………………………………………………………… PAGEREF _Toc222629630 \h 2 一、工作範圍……………………………………………………………………………………3 二、各系統規範………………………………………………………………………………3-5 三、廠商投標文件………………………………………………………………………………5 四、履約期限 …………………………………………………………………………………5 五、驗收及保固…………………………………………………………………………………5 HYPERLINK \l _Toc222629637 六、其他 .……………………………………………………………………………………5-6 七、附圖….………………………………………………………………………………… 6-7 一、工作範圍 本規範適用NDL實驗棟3F 10K級潔淨室新增磁性前期研究蝕刻設備所需NH3、CO氣體感測元件、NH3加熱器警示功能等之設計製造、安裝、施工、測試等要求 二、各系統規範 感測點感測元件型式：NH3 ×2個 1.1感測範圍:0-75 ppm 1.2採樣方式:吸引式 1.3精度:+/- 5% F.S 1.4 操作溫度:-10～40?C 1.5操作溼度:0～100%RH 1.6 Sensor壽命:3年以上 1.7感測元件安裝感測磁性前期研究蝕刻設備，設備、環境、NH3 GB位置如(附圖一) 1.8 PLC盤面位置如(附圖一)。 1.9感測元件狀態能與原監控系統整合，其監控功能需能與原監控警報系統之警示燈、現場警示盤、CALL機、廣播、圖控、 3F 10K NH3 VMB Interlock等功能連動。 1.10使用標準氣體校正，標準氣體分析報告需有可以追溯到USA NIST CALL機、圖控等功能連動。 感測點感測元件型式：CO ×2個 2.1感測範圍:0-100 ppm 2.2採樣方式:吸引式 2.3精度:+/- 5% F.S 2.4 操作溫度:-10～40?C 2.5操作溼度:0～100%RH 2.6 Sensor壽命:3年以上 2.7感測元件安裝感測磁性前期研究蝕刻設備，設備、環境、CO GB位置如(附圖一) 2.8 PLC盤面位置如(附圖一)。 2.9感測元件狀態能與原監控系統整合，其監控功能需能與原監控警報系統之警示燈、現場警示盤、CALL機、廣播、圖控、 CO G/C Interlock等功能連動。 2.10使用標準氣體校正，標準氣體分析報告需有可以追溯到USA NIST CALL機、圖控等功能連動。 3. NH3 加熱器警示功能安裝×1 3.1 NH3加熱器位置如附圖(一) 3.2 PLC盤面位置如附圖(一) 3.3 NH3加熱異常警示需能與原監控系統整合，其監控功能需能與中央監控室 CALL機、圖控等功能連動 4. 監控程式規格及修改 4.1 需使用Diamond SCADA規劃（或相容互通之同等品）之正版軟體(需有授權)於完工時與驗收報告交與業主。程式編輯規劃需先外部電腦作業完成後始可到NDL進行程式更新及測試，NDL不提供監控電腦上編輯程式,以免造成監控系統異常。 4.2 Diamond SCADA 監控程式修改(與既設系統相容,能控制G/C HMI,VMB HMI,地震儀,CQC系統,氣體純化器,偵測器校正及偵測功能) 4.3 V5.X中文版 4.4 監控系統設定 4.5 氣瓶櫃(Gas Cabinet)通訊介面及程式聯接,HMI 功能:顯示氣體供應,重量,流向,消耗量,自動統計使用量,警報功能… 4.6 警報、廣播及Call機連動 4.7 監控系統共九組上線及備用電腦之圖控程式修改 4.8 資料庫可程式化設計 4.9