含预制类裂纹纳米悬臂梁的断裂力学行为研究-固体力学专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 Classified Index: 346.1 : 621 Dissertation for the Master Degree in Engineering FRACTURE MECHANICS INVESTIGATION OF NANO-MULTILAYERED CANTILEVER WITH A CRACK-LIKE NOTCH Candidate： Huang Kai Supervisor： Prof. Guo Licheng Academic Degree Applied for： Master of Engineering Speciality： Solid Mechanics Affiliation： School of Astronautics Date of Defence： June, 2014 Degree-Conferring-Institution： Harbin Institute of Technology 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 摘 要 随着微电子技术的迅速发展，很多先进的微机电器件都是由微尺度多层材料 制作而成，有的尺寸已经小至纳米尺度。这种纳米多层结构的断裂行为的研究工 作对于其应用设计以及安全分析都有着重要的意义。然而，目前对于这类材料的 试验和相关分析工作依然十分有限。本文主要研究含预制类裂纹纳米悬臂梁的断 裂力学行为。 第 1 章主要介绍了本文的课题来源及研究目的和意义，回顾并分析了国内外 纳米尺度多层结构材料断裂力学相关的研究状况以及存在的不足，进而确定了本 文的研究内容。 第 2 章介绍了本课题相关的理论基础，包括交互作用积分、扩展有限元以及 双线性内聚力模型，推导了适用于本课题的交互作用积分方法。 第 3 章提出了一种新的针对纳米多层材料断裂力学的试验和分析方法。通过 在 SiN 薄膜中预制一个类裂纹，研究了三种不同类型的裂纹扩展行为，包括裂纹 仅在 SiN 薄膜中的扩展行为、SiN/Cu 界面脱粘失效以及裂纹跨界面（SiN/Cu）扩 展行为。 第 4 章采用交互作用积分与扩展有限元相结合的方法模拟分析了不同的裂纹 扩展行为，得到了裂纹在 SiN 薄膜中启裂时裂尖的应力强度因子，分别得到了 SiN 薄膜、SiN/Cu 界面以及 Cu 薄膜的表面能密度。 第 5 章讨论了裂纹的扩展动能，针对于本课题的脆性断裂过程，提出了一个 新的关于判断裂纹扩展行为的假设。该假设认为裂纹在扩展过程中会保持扩展， 直到所有的累积动能完全被裂纹扩展所形成的新的裂纹面吸收掉为止。该假设对 于纳米尺度下裂纹扩展行为的分析和预测有着重要的意义。 关键词：纳米多层材料；试验与分析；裂纹扩展；跨界面裂纹；动能 I - Abstract Many advanced micro-mechanical and electronic devices are made from multilayers of different materials, and the size is even on the nanoscale. The investigation of fracture behavior is very significant to the design and safety analysis of nano-multilayered structures. However, the fracture mechanics experiments and the related analysis of this type of materials are still very limited. This thesis focus on the fracture mechanics investigation of nano-multilayered cantilever with a crack-like notch. In Chapter 1, the background and significance of the thesis are introduced, and the reseach status of the investigation on the fracture mechanics of the nano-multilayered materials is reviewed. Considering the shortages and limitation in this area, the main contents of this thesis are determined. In Chapter 2, some basi