硅片检测平台的结构设计与误差测试分析-机械工程专业论文.docxVIP

独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研 究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或 集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在 文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权 保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。 本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检 索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 本论文属于 保密□，在 年解密后适用本授权书。 不保密□。 （请在以上方框内打“√”） 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 华 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 I I 摘 要 如今的 IC 制造工业属于 IC 技术的核心，是最受设计厂商关注的部分，也是企业投 资最多的部分。而作为半导体制造的基础，硅片检测与制造技术是最为重要的环节。本 文基于硅片制造技术为背景，对硅片检测过程的精密检测设备进行设计和研究。 首先，针对本课题硅片检测平台的设计需求和技术参数，对比三自由度和四自由度 的优缺点，选择并设计出适合本课题的平台总体方案。并根据课题提出的精度要求，对 运动平台的三轴使用的驱动方式进行分析与选择。 开展了气缸、音圈电机、光栅尺和滚动导轨等关键部件的分析、选型与校核，完成 了硅片检测平台的结构设计和样机研制。开展了垂向精密运动机构的精密定位实验，结 果表明其垂向定位精度达到±0.1μm，满足设计要求。 最后，本文针对硅片平台样机，进行了硅片检测平台 Z 向的动态误差测试。通过 对 Z 向零部件的误差测试，分析了 Z 向误差造成的因素，针对样机的结构及驱动方式， 进行了硅片平台的结构改进，并针对硅片检测平台提出多自由度的耦合误差分析。 关键词：硅片检测 机械结构设计 定位精度 误差实验 华 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 II II Abstract The core of todays IC manufacturing industry belongs to IC technology, is the most concerned part of the design firm, it is also the largest investment part. As the basis for semiconductor manufacturing, wafer testing and manufacturing technology is the most important part. Based on the background of wafer manufacturing technology, sophisticated detection equipment for wafer inspection process design and research. Firstly, the design requirements and technical parameters of the subject wafer inspection platform, compared to the advantages and disadvantages of three degrees of freedom and four degrees of freedom, choice and design suitable platform for this project overall program. And in accordance with the subject proposed accuracy requirements for the use of three-axis motion drive system platform for analysis and selection.Analysis, selection and verification research of critical component including cylinder, voice coil motors, encoders and rolling guide are accomplished. The precision positioning control experiments are conducted. The resul