固结磨料研磨抛光K9光学玻璃分析-机械制造及其自动化专业论文.docxVIP

南京航空航天大学硕士学位论文 图 5.2 切割毛片差动腐蚀速率平均值 44 图 5.3 切割毛片差动腐蚀加速度平均值 44 图 5.4 游离磨料研磨试件和基体的腐蚀速率曲线 45 图 5.5 游离磨料差动腐蚀速率平均值 45 图 5.6 游离磨料差动腐蚀加速度平均值 45 图 5.7 固结磨料研磨试件和基体的腐蚀速率曲线 46 图 5.8 固结磨料差动腐蚀速率平均值 46 图 5.9 固结磨料差动腐蚀加速度平均值 46 图 5.10 不同试件加工后表面形貌比较 48 图 5.11 研磨过程中磨粒和试件相互作用示意图 48 图 5.12 材料去除过程示意图 49 图 5.13 K9 玻璃研磨亚表面损伤模型 50 表 2.1 K9 玻璃性能参数表 8 表 3.1 试验中研磨工艺参数设置 15 表 3.2 不同浓度研磨工艺参数 17 表 3.3 不同磨粒浓度对 K9 玻璃材料去除率的影响 18 表 3.4 不同磨粒浓度对 K9 玻璃粗糙度的影响 19 表 3.5 研磨工艺参数及水平 21 表 3.6 研磨工艺参数的表头设计 21 表 3.7 研磨加工工艺参数设置 21 表 3.8 研磨材料去除率实验结果分析 22 表 3.9 表面粗糙度实验结果分析 25 表 4.1 抛光前研磨条件和参数 32 表 4.2 氧化铈抛光垫抛光液种类及描述 33 表 4.3 六种抛光组合分别获得的材料去除率 34 表 4.4 抛光液配置及工艺参数 35 表 4.5 抛光参数和对应水平 36 表 4.6 实验因素对材料去除率的影响结果及分析 37 表 4.7 试验因素对粗糙度的影响结果及分析 39 VII 固结磨料研磨抛光 固结磨料研磨抛光 K9 光学玻璃研究 注释表 CMP 化学机械抛光，化学机械平坦化 FAP 固结磨料研磨抛光垫 FA-CMP 固结磨料化学机械抛光 h 加工前工件的初始厚度 MRR 工件材料去除率 Mo 研磨抛光前工件的初始质量 Mi 研磨抛光后工件的质量 Sa 三维轮廓表面粗糙度 t 研磨抛光时间 UV 紫外光 ω1 抛光垫转动角速度 ω2 工件转动角速度 △m 工件加工前后质量改变量 M 工件原始质量 △h 工价加工后厚度改变量 H 工件原始厚度 VIII 承诺书 本人声明所呈交的硕士学位论文是本人在导师指导下进行 的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢 的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成 果，也不包含为获得南京航空航天大学或其他教育机构的学位 或证书而使用过的材料。 本人授权南京航空航天大学可以将学位论文的全部或部分 内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等 复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后适用本承诺书） 作者签名： 日 期： 南京航空航天大学硕士学位论文 南京航空航天大学硕士学位论文 固结磨料研磨抛光 固结磨料研磨抛光 K9 光学玻璃研究 PAGE PAGE 1 PAGE PAGE 2 第一章 绪论 1.1 引言 光学行业在近二三十年中发展迅速,并已成为全球新兴产业的焦点。光学元件、系统的设计 和制造随着光学技术的发展也发生了巨大的变化，对光学元件和系统的需求向多元化发展,如通 信业对光纤的需求、空间光学对大尺寸光学元件的需求、集成电路制造业对高性能短波非球面 光学系统的需求等[1]。在航空航天领域，随着非球面雷达天线、非球面透镜、反射镜的广泛应 用，使光学产品的性能得到了极大提高，卫星技术中的光学望远镜和红外探测器中的反射镜等， 均需要获得亚纳米级的表面加工质量[2]；在民用方面光学传感器广泛应用于探测、工业监测和 控制等，能源方面激光核聚变可以提供长期的、清洁的、经济的能源，生产廉价的核燃料；同 样光学技术在国防工业中的应用前景更加广阔，激光制导中的激光陀螺，其加工精度对导弹实 施精确打击起关键作用，以超精密加工技术为支撑的高性能武器，对现代战争的进程及结果发 挥决定性作用[3]。光学零件在民用光电产品上的应用更为广泛，其范围涉及到摄影镜头和变焦 镜头、电视摄像管、电影放映镜头、卫星红外望远镜、光纤通信的光纤接头、录像机镜头、录 像和录音光盘读出头、医疗仪器等等[4]。所有这些光学制造技术发挥着不可或缺的重要作用。 另外,光学技术具有响应时间更快、传输容量更大、集成化程度更高的显著特点。可望发展为信 息时代的主要信息载体。微光学技术可能发展成为并不十分遥远的光计算机技术基础。 大型高功率激光装置中需要大量的大口径平面类光学元件，并且对承受高功率激光负载的 各类光学元件特性和透反射波前畸变提出超常规的特殊要求，这对光学加工的加工质量和效率 提出了新的挑战。例如，美国国家点火装