光纤连接器端面检测干涉仪的研制-光学工程专业论文.docxVIP

浙江大学硕士学位论文 浙江大学硕士学位论文 摘要 光纤连接器是光纤通信中的连接器件，其对于光纤系统连接精度起着至关重 要的作用。其中，光纤连接器的几何参数和端面形貌的质量影响着连接器的精度， 想要得到稳定的光纤系统，就必须对光纤连接器进行非常详细的检测，主要检测 的参数包括：三维形貌、曲率半径、研磨偏心和光纤高度值，并结合这些参数给 出最终的评价结果。本论文主要研究微米尺度特定区域三维形貌干涉测量新方法 新技术，最终达到加工生产的目的。在综合分析了各种微结构形貌测量方法的基 础上，本课题采用了Michel SOil型干涉显微系统，结合移相相位测量技术来获取 光纤连接器的形貌，设计并完成了光纤连接器端面参数检测干涉仪。 本文的主要工作包括以下几个方面： 1．确定本文采用的Michel SOIl干涉检测方法。 2．综合比较不同光源，结合具体的要求选择本系统的干涉光源。 3．对系统放大倍率进行了标定。 4．研究了光纤连接器几个参数的定义，并结合相关的算法得到最终的结果 与评价结论。 5．运用移相干涉技术得到所测端面的形貌。 6．成功实现了PZT的移动与CCD采集的同步进行，并且在五步移相结束后 PZT能够复原到初始位置，为下一次采集信号做准备。 7．对系统进行了整体机械设计，达到加工的目的。 关键词 光纤连接器，相位解包裹，Michel son干涉仪，压电陶瓷微位移器PZT， 几何参数