光纤微位移传感器研究-测试计量技术与仪器专业论文.docxVIP

光纤微位移传感器研究摘要随着光纤制造技术的迅速发展和光纤材料的深入研究，光纤传感技术也得到了快速发展。光纤传感器与传统的各类传感器相比，具有灵敏度高、抗电磁干扰能力强、耐腐蚀、防爆、结构简单、体积小，重量轻等一系列独特的优点。因此其在微型仪器及装置等领域有极好的应用前景。本文主要研制了基于两种光强度调制原理——微弯式和反射式——光纤位移传感特性研究实验装置。首先，根据传感器的基本原理，建立了传感器的数学模型，对影响传感器性能的各个结构参数进行了分析，进行了传感器结构参数的优化设计。其次，设计了两种机械结构并制作了光强信号探测电路。在微弯式传感器中，设计了一种新型的微弯器代替了传统的齿板结构，简化了系统结构，极大地降低了微弯器的加工难度：在反射式传感器中设计的杠杆式结构，有效地增大了传感器的量程，同时对反射壁材料进行了深入研究，提高了传感器的抗干扰能力。最后，还对微弯式传感器和反射式传感器进行了静态特性标定实验。本论文为光纤微型位移传感器的研究奠定了基础。关键词：光纤位移传感器；微弯器；反射式：微位移测量Studyonfiber-opticdisplacementsensorAbstractModemopticalfibersensorsowetheirrapiddevelopmenttotheachievementsoftechnologiesinfiberfabrication．Theyhavemanyadvantagesovertraditionalsensors，suchashighsensitivity，insensitivitytoinfluenceofelectromagneticfield，goodsolution，smallvolume，lowprice，etc，SOithasagreatfutureinmicro。machinesystem．Inthispaper,twokindsofopticalfibersensorwhicharebasedonlightintensitymodulationarestudied，themicro．bentfiber-opticdisplacementsensorandtheretiectivefiber-opticdisplacementsensor．Atfirst，accordingthetheoryofthesensor,themathematicsmodelWasbuilt，andthekeyparameterswereanalyzed，thenthereasonableparameterscouldbechosen．Thesecond，twokindsofmechanicstructureweredesignedandthedetectivecircuitwasmade．Inmicro-bentsensor，anewkindofmicro．bentmechanismWasdesignedwhichreplacedthetraditionalconstruction·Thatsimplifiedthewholesystemstructure，anddeclinedthedifficultyofmanufacturedeeply．Inordertoin．easetherange，theleverstructurewasintroducedintorenecnvesensor．ThereflectiveboardWaschosenstrictly,enhancingthecapabilityofagainstdisturb．Atlast,thelightgivenoutfromthesensorWasmeasuredandanalyzed；arelationbetweendisplacementandlightintensityWasobtained．ThispaperisinstrumentalinstudyofminiaturizationfiberopticaldisplacementSenSor．Keywords：Fiber-opticdisplacementsensor；Micro-bendmechanism；Reflective；Microdisplacementmeasurement插图清单图1-1光纤传感原理示意图4图2．1光探测部分结构．6图2．2光电三极管的内部结构7图2．3光电三极管的三种结构7图2．4InGaAsPIN光电三极管探测器特性曲线9图2．5放大电路的基本结构。10图2．6运算放大器OPl28内部结构。10图2．7无源低通滤波电路12图2．8一阶RC无源滤波器的频幅特性12图2．9处理电路PCB板图13图3．1纤芯内光路传播。17图3