基于PLC的真空氦质谱自动检漏系统的设计.pdfVIP

学兔兔 l 訇 地 基于PLC的真空氦质谱自动检漏系统的设计 Design of automatic mass spectrum leak detection system based on PLC 周乔君，蒋 庆，汤建斌，陈泽熹 ZHOU Qiao-jun，JIANG Qing，TANG Jian．bin，CHEN Ze．Xi (中国计量学院计量测试工程学院，杭州310018) 摘 要：制冷行业对其制冷部件有严格的漏率要求，为了适应制冷部件批量化生产背景下的高精度快速 检测，设计研发了真空氦质谱自动检漏系统。该系统采用PLC与触摸屏结合的模式，充分发挥 了PI_C可靠高效的优势，通过触摸屏弥补了人机交互的不足，对检漏工艺进行优化，实现了工 位间互不干扰的交错检测并增加了大漏剔除环节，显著提高了检漏效率。系统实际运行显示 可以检测到的最小漏率可达1 X 10一 mbar·]／s，检漏节拍最快可达1 5s／只，与传统的检漏方 法相比大大提高了检漏精度和节拍，实现了产品高精度的快速在线检测。 关键词：氦质谱检漏；真空；PLC；触摸屏 中图分类号：TB774 文献标识码：A 文章编号：1 009-01 34(201 3)09(下)-0064-04 Ooi：1 0．3969／J．issn．1 009-01 34．201 3．09CF)．21 0 引言 随着科学技术不断进步，现代汽车零部件工 业、空调冰箱制冷器工业及其他一些涉及密封要 求的行业对部件检漏提出了越来越高的要求。传 统的检漏方法例如静态降压法、肥皂泡法、水检 法等不仅检漏时间需要几十秒甚至更长，而且只 能检测到l×104mbar．1／s以上的漏率，不能满足现 代工业检漏对效率和检漏灵敏度的要求，势必需 要寻找更精密的检漏方法 。因此，氦质谱检漏 1．离子流；2．引出孔板：3．离子源屏蔽：4．阴极1；5．阴极 方法越来越多地被国内外企业用于产品的检漏。 6．阴极2；7．中间孔板；8．磁场；9．干扰抑制极； 本文旨在研发一套高效真空氦质谱自动检漏系 l0．离子收集极孔液；1 1．离子收集液；l2．预防大器 统，系统设计最小检测漏率可达1×l0一 mbar．1／s， 图1 氦质谱检漏仪原理 检漏节拍最快可达15s／只。系统对现有工艺进行优 氦质谱测漏的方法通常有喷吹法检漏、吸腔 化，对检漏设备进行技术改造，适应批量化的生 法检漏、背压法检漏、真空室检漏 J。真空室检漏 产模式，在不大量增加人力资源的前提下，快速 又可以分为两种：一种是内真空法，另一种是外 准确的判断产品性能是否符合要求，显著提高产 真空法。本系统采用真空室检漏中的外真空法， 品在线检漏效率。 检漏原理如图2所示。其具体检漏方法为：把工件 1氦质谱检漏的原理及方法 安放在真空室内，充入一定压力的氦气，氦气通 氦质谱测漏实质上就是用质谱检漏仪检测通过 过工件漏孔进入真空室，由与真空室相连的氦质 漏孔的氦气多少来判断漏率。质谱检漏仪的原理如 谱检漏仪检出，从而得到工件漏率。 图1所示，气体分子进入质谱检漏仪后，