纳米薄膜的光学参数及厚度提取方法研究-上海交通大学.PDF

维普资讯 第26卷第1期 光 电 子 技 术 Vo1．26No．1 2006年3月 OPTOEIECTR0NIC TECHNOLOGY Mar．2006 纳米薄膜的光学参数及厚度提取方法研究 金文豪，徐 东，杨莺歌，张亚非 (上海交通大学微纳科学技术研究院，微米 ／纳米加工技术国家重点实验室， 薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海。200030) 摘 要：采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备了不同厚度的单层TiO 、Au纳米薄膜和双层 TiOz／Au纳米薄膜，并测量了这些薄膜的透射光谱。通过设计计算机程序拟合透射光谱；获取了薄 膜的折射率和消光系数随波长的变化曲线以及薄膜的厚度。这种拟合方法是以非线性约束优化理 论为基础的，具有透射光谱易测量、计算精度高等特点。 关键词：薄膜光学；光学常数；非线性约束优化算法 中图分类号 ；TN65 文献标识码 ：A 文章编号 ：loo5—488X(2oo6)Ol一0026—04 StudyontheExtractionofOpticalConstantsand ThicknessofNanometer．scaleFilm JIN Wen—hao，XU Dong，YANGYing—ge，ZHANG Ya—fei (StateKeyLab．torMicrometer／nanometerProcessingTechnologyCenter。KeyLab． torThinFilm andFineTechnologyof theEducationMinistry，InstituteofMicrometer／nanometerTechnology ofShanghaiJiaotongUniversity。Shanghai，200030。CHN) Abstract：TiOz，AuandTiO2／AuthinfilmsweredepositedonglasssubstratesUSingmagnetron sputteringsystem．Thetransmissionspectraaremeasured．Thecurvesofrefraction indexandextinction coefficientwithdifferentwavelengthandthethicknessoffilmswereobtainedfrom transmissionspectrum。 Basedonaconstrainednonlinearprogrammingalgorithm ，thisfitmethodhasthecharacteristicsofhigh computingprecisionandeasytomeasurethetransmissionspectrum． Keywords：thinfilm optics；opticalconstant；constrainednonlinearprogrammingalgorithm 研 中的广泛应用 。用非破坏性的方法提取薄膜的光 言 学参数和厚度成了一个重要问胚。已有的一些测量 方法 (比如椭圆光谱仪测量)只能对单层薄膜有效， 目前，半导体薄膜和金属薄膜广泛应用于Ic产 不能测量多层复合薄膜的光学参数和厚度。本文所 业、太阳能、传感器等领域。利用金属薄膜在红外波 提供的无破坏性的测量方法不仅适用于单层薄膜而 段的高反射率。也可将其用于制备滤波器、微腔高反