光通信MEMS光开关关键技术的研究-仪器科学与技术专业论文.docxVIP

中文摘要摘 中文摘要 摘 要 基于光纤的全光网络，是新一代高速宽带综合业务网的首选方案，全光光开 关是全光网络的基石，MEMS光开关则是众多光开关方案中竞争力最强的技术之 一，因此，开展MEMS光开关关键结构及其性能的研究，有着重要的理论意义和 潜在应用价值。本文对2D MEMS光开关的关键技术进行了探讨，采用体微加工和 表面微加工技术和薪型MEMS结构材料，研制出2D MEMS光开关的微镜及其驱 动结构，主要研究工作如下： 系统地对MEMS技术，尤其是MEMS微加工技术进行了研究，为MEMS器 件设计奠定理论基础。系统地研究了MEMS光开关的核心技术一微镜结构与驱动 技术，选定了静电直接驱动水平扭力式微镜光开关单元为研究重点。 对以多晶硅为结构材料的静电直接驱动水平扭力式微镜光开关进行尺寸设计 和工艺设计，并对其制作进行工艺实验研究，尤其是DRIE的替代工艺一TMAH 湿法深槽亥Ⅱ蚀技术，提出了TMAH湿法深槽的工艺参数，实现了与集成电路工艺 兼容的MEMS体微加工工艺。对多晶硅微镜进行应力实验，认为减小和消除多晶 硅薄膜的残余应力成为多晶硅微镜技术的关键。 对非硅结构材料的静电直接驱动水平扭力式微镜光开关进行研究，提出了镍 铬金微结构方案，并进行了理论分析和实验研究，成功地制作出基于硅基的镍铬 会光开关单元。并对其进行了测试，包括微镜表面粗糙度、微镜的反射率光谱曲 线、微镜的静电驱动扭转及循环实验等，测试结果表明，该光开关微镜单元光学 性能良好，在15V电压驱动下可实现15度的扭转，性能稳定，可实现光开关功能。 对电极进行改进，对采用倾斜电极结构的光开关单元进行了理论分析，计算 结果表明，改进后的结构将有助于进一步降低驱动电压，对提高光开关工作的稳 定性与可靠性也是有利的。 本文的主要创新点包括： 1、提出TMAH湿法刻蚀代替DⅪE的工艺技术，并得到了TMAH刻蚀光滑 表面的一组藿要工艺流程参数。 2、提出了采用镍铬金材料的金属微镜光开关结构方案，得到镍铬金光开关微 镜单元，通过测试表明该微镜单元光学性能良好，机械性能稳定，能够实现光开 关功能。 重庆大学博士学位论文通过本文的研究，采用镍铬金材料制作的金属微镜单元具有良好的光学性能 重庆大学博士学位论文 通过本文的研究，采用镍铬金材料制作的金属微镜单元具有良好的光学性能 和机械性能，能够实现光开关功能，对2D MEMS的研究及其实用化，具有重要意义。 关键词：光开关，MEMS，非硅微镜，TMAH湿法刻蚀 II 英文摘要ABSTRACT 英文摘要 ABSTRACT All optical network(AON)is preferred way of new generation wideband network and optical switch is the key technology for AON．Among various schemes of optical switches，MEMS optical switch is the competitiveness one．Study on the key structure and characteristic of MEMS optical switches has important theoretic meaning， applied value and marketible foreground．This dissertation discusses the tectmologies of 2D MEMS optical switch．By using bulk and surface micromaching process，a novel micromirror with its driving structure is made with new structure material．The main researches points in the dissertation as followings： The basic technology and methods for MEMS process is researched to the theoretic basis for design ofMEMS devices．After theory and simulation analysis Oil the schemes of mieromirror and driving structures，which the core technologies of MEMS optical switch，a static electricity driving horizontal torsi