光电反馈式静电悬浮技术研究-光学工程专业论文.docxVIP

浙江人学坝f学位论义摘要 浙江人学坝f学位论义 摘要 X{33s38 [随着现代工业与科学技术的发展，在精密机械工业、半导体工业、航空航 天工业、交通与运输业以及空间材料科学、微电子学和军事科学等许多领域， 需要采用悬浮技术对特定目标如精密元器件、光盘(CD)、液晶片(LCD)、硅 基片(Wafer)、导航陀螺乃至列车等实现非接触式的操作或输运，因此，悬浮 技术的发展具有重要的理论意义和实用价值。传统的悬浮技术包括：磁悬浮 (Magnetic Levitation)、超声波悬浮(Acoustic Levitation)、气动悬浮 (Aerodynamic Levitation)、光学悬浮(Optical Levitation)、射频悬浮 (Radio—Frequency Levitation)、电悬浮(Electric Levitation)和超导悬浮 (Super-conducting Levitation)等。这些悬浮技术各有其特定的优点，已经在一 些特殊场合得到应用，但每一种悬浮技术均存在不同程度的局限性。例如，磁 悬浮的工作原理决定了它不能对非磁性材料进行直接悬浮操作；超声波悬浮需 要产生高频的受迫振动，可能对悬浮体造成损伤；气动悬浮的缺点是噪声太大， 也难以实现精确的定位控制；射频悬浮要求被悬浮物为金属导体；光学悬浮则 仅适用于分子级大小的微粒：常规的无源电悬浮仅靠自动调谐电路本身的参数 来获得悬浮，因而调整速度慢，仅在偏离设定位置的一定范围内是稳定的，此 外悬浮的刚度较低，不适合定位精度高的场合。针对现有悬浮技术的发展现状， 本文研究一种新颖的悬浮方法——光电反馈式静电悬浮方法。利用该悬浮方法 可以广泛实现导体(如金属片)、半导体(如硅Wafer)、常规绝缘体或电介质(如 LCD片、CD片、玻璃片、纸片)等悬浮，进而对其进行非接触的无损操作。 与常规电悬浮和磁悬浮相比，静电悬浮的突出优点是不受悬浮体的磁性和导电 性的制约，因而应用领域更加广阔。一卜 本文的主要研究工作内容、研究特色和创新之处包括： 在理论上，全面系统地揭示了静电悬浮的机理，即静电极与悬浮体之间的 静电感应或极化机理及静电力的作用规律。首次正确解释了静电极与不同悬浮 体(导体、半导体、电介质)之间的静电感应和静电极化规律。建立了悬浮过 程中静电力作用的理论模型，并推导出适用于不同悬浮体的静电悬浮力的计算 公式。此外，通过列悬浮系统进行数学建模分析，建立了静电悬浮姿态控制的 浙江人学坝I．’学位论史状态方程。这是本文在理论方法上的创新。利用这些规律，结合光电检测及反 浙江人学坝I．’学位论史 状态方程。这是本文在理论方法上的创新。利用这些规律，结合光电检测及反 馈控制技术，确立和发展了光电反馈式静电悬浮技术。 在技术方法上，建立了光电反馈式静电悬浮的实验装置和设备。包括静电 悬浮的操作电极的优化设计、多路激光测距探头的研制、PID反馈控制系统的设 训制作以及离压放大系统的实现等。f通过实验对不同操作电极下作用于悬浮体 t的静电悬浮力进行了精确测定，实验结果与理论计算公式符合良好，据此获 得了操作电极的优化设计参数。利用激光三角法测距原理，研制完成三路激光 测距探头，可对悬浮目标的悬浮姿态进行实时监控。鉴于传统三角测距法的非 线性，我们提出和发展了一种新的校正方法——采用硬件电路将其线性化，从 而消除非线性带来的测量和控制误差。实验表明，在测量范围(即电极板与悬 1／ 浮体之间的间距)为土1．5 ITUTI内，测量精度优于7“m07另～方面，根据悬浮系 统的状态方程，利用Matlab软件的模拟方法，对PID控制系统的参数进行了优 化，据此建立了静电悬浮的高精度PID控制系统。此外，针对现有的直流高电 压运算放大器价格昂贵的现状，我们自行设计了能实现直流低压——高压转换 及跟随的高压脉动跟随模块，可将2V～6V的直流电压放大到300V～900V，响 应频率为100 Hz，较好地满足了悬浮系统的要求。f实验表明，整个光电反馈控 制系统的可将悬浮间距稳定控制在250 pm～400啦范围内的任一数值，控制精 度可达10 pm。 在实验和应用方面，利用自行研制的静电悬浮装置，对不同电学特性的悬 浮体进行了静电悬浮实验。成功地实现了铝片、硅Wafer片、CD片等代表性悬 浮体的静电悬浮，并基于光电反馈控制系统获得平稳的悬浮状态。因此，静电 悬浮方法可广泛应用于导体、半导体和常规绝缘体的悬浮，这是本文工作的预 期目杯，也是本课题的最主要的特色和创新之处。J i 一 一 塑望叁兰堡!：兰些堡兰 Abstract With the development of modem industry and technology,some conveying an