光学薄膜厚度实时监控系统及其反演的研究-光学工程专业论文.docxVIP

浙江大学硕士论文Y 浙江大学硕士论文 Y 581396 摘要 进入90年代以后，显示技术和光通信技术的迅猛发展和逐渐的产业化，对于光学 薄膜的发展起到了很大的促进和推动作用。人们对光学薄膜的性能提出了更高的要求， 从而也对薄膜制造的监控精度提出了更严峻的挑战。目前，国外知名镀膜机厂商销售的 都是全自动镀膜机。这类镀膜机具有很高的监控精度，而且完全实现了监控的自动化。 但是，目前市场上的国产镀膜机均还需要人工进行操作，自动化程度很低。本课题就是 针对这一情况提出的。 本文首先对薄膜厚度的光学监控法的基本原理进行了研究，从理论上分析了该方法 的优点和不足，针对其不足讨论了相应的改善办法，并提出了探讨了提高光学监控法监 控精度的方法。同时，本文还对监控过程中膜层参数的在线反演进行了严格的数学推导。 为了更加有效地进行反演，滤除监控信号中的噪声，以及提高极值法的监控精度， 本文分析了最优化方法在这些问题上的应用。虽然最优化方法在实际监控及反演过程中 受到应用条件的限制，但是这些分析对于今后工作的指导是很有意义的。 本课题还建立了～套光学薄膜厚度实时监控系统，可以与国产镀膜机配套使用，初 步实现国产镀膜机薄膜制备过程的自动化。实践表明，这套膜厚监控系统具有很强的实 用性，同时具有较高的稳定性和可操作性。 最后，本文对整个课题的工作进行了总结，并且提出了今后改进的思路和发展的方 向。 关键词：光学薄膜，实时监控系统，光学监控法，自动化，在线反演，最优化 柬经作者、导师同意 l勿全文公布 浙江大学硕士论文Abstract 浙江大学硕士论文 Abstract The development of optical thin films has been greatly promoted and driven by the rapid development and gradual industrialization of the display technologies and optical communication technologies since 1 990．People bring up higher requirements to the performance ofoptical th抽films．and hence bring up a more serious challenge to the monitor accuracy during the thin fihn manufacture．Currently,almost all the famous intemational coater manufacturers sell the automatic eoaters，which not only provide very hi曲monitor accuracy，but alSO provide automatic monitor．However,the domestic coaters still need manual operation． We do research On the basic principle ofoptical monitoring for thin film thickness．The advantages and disadvantages are analyzed theoretically．The improvement against the disadvantages and the ways to enhance the accuracy of the optical monitor are proposed．At the meantime，the theoretical analysis for the online reverse of the parameters of thin films is also presented． In order to perform reverse more effectively,filter the noise of monitor signals，and enhance the accuracy of monitor system，optimization algorithms ale analyzed to solve these problems．The analysis is instructive for future research，though its application is currently limited by the conditions in practice． An in-situ optical