成型工艺对CBS系微晶玻璃结构与性能的影响-南京工业大学学报.PDF

第３４卷第２期 南　京　工　业　大　学　学　报　（自然 科 学 版） Ｖｏｌ．３４Ｎｏ．２ ２０１２年３月 ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＮＡＮＪＩＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＯＦＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ） Ｍａｒ．２０１２ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１６７１－７６２７．２０１２．０２．００３ 成型工艺对 ＣＢＳ系微晶玻璃结构与性能的影响 １ ２ １ １ 戴　斌 ，韦鹏飞 ，周洪庆 ，王　杰 （１．南京工业大学材料科学与工程学院，江苏 南京 ２１０００９； ２．金陵科技学院材料工程学院，江苏 南京 ２１１１６９） 摘　要：采用干压成型和流延成型工艺制备ＣａＯ ＢＯ ＳｉＯ（ＣＢＳ）系生坯。考察成型工艺对ＣＢＳ微晶玻璃的烧 ２ ３ ２ 结性能与介电性能的影响；用Ｘ线衍射仪（ＸＲＤ）、扫描电镜（ＳＥＭ）对试样进行表征。结果表明：与干压成型相比， 流延成型体系中没有出现新的晶相，流延成型试样的体积密度和收缩率有所增加，有利于介电常数提高和介质损 ３ 耗的降低；８５０℃烧结的流延成型试样，体积密度达到２５８ｇ／ｃｍ，Ｘ、Ｙ轴收缩率均为１５３５％，１０ＧＨｚ时介电常数 －４ －６ －１ 和介电损耗分别为６４５和８×１０ ，３００℃的热膨胀系数为１２０２×１０ Ｋ ，抗弯强度为 １６１１８ＭＰａ，热导率为 ＋ １９Ｗ／（ｍ·Ｋ）。ＣＢＳ微晶玻璃与Ａｇ电极高温烧结后金属Ａｇ布线断裂。金属Ａｇ电极浆料与生料带共烧时，Ａｇ ＋ 能够沿着基片表面不致密部分扩散，而相对致密的晶相，能够在一定程度上阻碍Ａｇ扩散。 关键词：成型工艺；钙硼硅玻璃；Ａｇ电极浆料；共烧匹配 中图分类号：ＴＢ３４　　　文献标志码：Ａ　　　文章编号：１６７１－７６２７（２０１２）０２－００１１－０５ Ｅｆｆｅｃｔｓｏｆｍｏｌｄｉｎｇｐｒｏｃｅｓｓｏｎｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｎｄｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆ ＣａＯＢＯＳｉＯ ｇｌａｓｓｃｅｒａｍｉｃｓ ２ ３ ２ １ ２ １ １ ＤＡＩＢｉｎ，ＷＥＩＰｅｎｇｆｅｉ，ＺＨＯＵＨｏｎｇｑｉｎｇ，ＷＡＮＧＪｉｅ （１．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＮａｎｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１０００９，Ｃｈｉｎａ； ２．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭａｔｅｒｉａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＪｉｎｌｉｎｇＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１１１６９，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＣａＯＢＯＳｉＯ（ＣＢＳ）ｇｌａｓｓｃｅｒａｍｉｃｓｗｅｒｅｐｒｅｐａｒｅｄｂｙｄｒｙｐｒｏｃｅｓｓａｎｄｔａｐｅｃａｓｔｉｎｇ．Ｔｈｅ ２ ３ ２ ｅｆｆｅｃｔｓｏｆｄｒｙｐｒｏｃｅｓｓａｎｄｔａｐｅｃａｓｔｉｎｇｏｎｓｉｎｔｅｒｉｎｇａｎｄｄｉｅｌｅ