原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
第４０卷第３期 东 北 大 学 学 报 ( 自 然 科 学 版 ) Ｖｏｌ.４０ꎬＮｏ.３
２０１９年 ３ 月 Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｎｏｒｔｈｅａｓｔｅｒｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ(Ｎａｔｕｒａｌ Ｓｃｉｅｎｃｅ) Ｍａｒ. ２０ １９
ｄｏｉ:１０.１２０６８/ｊ.ｉｓｓｎ.１００５－３０２６.２０１９.０３.０１０
超声电流变复合抛光试验
１ ２ １ １
张 雷 ꎬ侯 汉 ꎬ韩艳君 ꎬ王 昕
(１ 吉林大学 机械科学与工程学院ꎬ吉林 长春 １３００２２ꎻ２ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所ꎬ吉林 长春 １３００３３)
摘 要: 针对模具微结构光整加工ꎬ利用电流变效应对磨料的聚集作用和超声振动对磨料的驱动作用ꎬ
提出了超声电流变复合抛光工艺.开发了超声电流变复合抛光加工系统.正交试验结果表明超声振动的振幅
和施加的电场强度对表面粗糙度的影响最大.通过单因素试验研究了超声电流变复合抛光工艺参数对抛光
后表面粗糙度的影响规律.试验结果验证了超声电流变复合抛光工艺可行性ꎬ为后续工艺优化和实际应用奠
定了基础.
关 键 词: 机械制造ꎻ超声振动ꎻ电流变效应ꎻ抛光ꎻ正交试验
中图分类号: ＴＧ ６６９ 文献标志码: Ａ 文章编号: １００５－３０２６(２０１９)０３－０３５６－０４
Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ ａｎｄ Ｅｌｅｃｔｒｏｒｈｅｏｌｏｇｉｃａｌ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ Ｐｒｏｃｅｓｓ
１ ２ １ １
ＺＨＡＮＧＬｅｉ ꎬＨＯＵＨａｎ ꎬＨＡＮ Ｙａｎ￣ｊｕｎ ꎬＷＡＮＧＸｉｎ
(１.Ｃｏｌｌｅｇｅ ｏｆ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ ＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇꎬＪｉｌｉｎ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙꎬＣｈａｎｇｃｈｕｎ １３００２２ꎬＣｈｉｎａꎻ２.Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ
Ｉｎｓｔｉｔｕｄｅ ｏｆ Ｏｐｔｉｃｓꎬ Ｆｉｎｅ Ｍｅｃｈａｎｉｃｓ ａｎｄ Ｐｈｙｓｉｃｓꎬ Ｃｈｉｎｅｓｅ Ａｃａｄｅｍｙ ｏｆ Ｓｃｉｅｎｃｅꎬ Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ １３００３３ꎬ Ｃｈｉｎａ.
Ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇ ａｕｔｈｏｒ:ＺＨＡＮＧ ＬｅｉꎬＥ￣ｍａｉｌ:ｚｈａｎｇｌｅｉ＠ｊｌｕ.ｅｄｕ.ｃｎ)
Ａｂｓｔｒａｃｔ: Ａｎ ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ ａｎｄ ｅｌｅｃｔｒｏｒｈｅｏｌｏｇｉｃａｌ ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ ｐｒｏｃｅｓｓ ｗａｓ ｐｒｏｐｏｓｅｄ ｆｏｒ
ｆｉｎｉｓｈｉｎｇ ｍｉｃｒｏ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ ｏｆ ｍｏｌｄ ｂａｓｅｄ ｏｎ ｂｏｔｈ ｔｈｅ ａｇｇｒｅｇａｔｉｏｎ ｏｆ ａｂｒａｓｉｖｅｓ ｃａｕｓｅｄ ｂｙ
ｅｌｅｃｔｒｏｒｈｅｏｌｏｇｉｃａｌ ｅｆｆｅｃｔ ａｎｄ ｔｈｅ ｄｒｉｖｉｎｇ ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ ｖｉｂｒａｔｉｏｎ ｏｎ ａｂｒａｓｉｖｅｓ. Ａｎ ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ
ａｎｄ ｅｌｅｃｔｒｏｒｈｅｏｌｏｇｉｃａｌ ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ ｓｙｓｔｅｍ ｗａｓ ｄｅｖｅｌｏｐｅｄ. Ｔｈｅ ｏｒｔｈｏｇｏｎａｌ ｔｅｓｔ ｒｅｓｕｌｔｓ
ｓｈｏｗｅｄ ｔｈａｔ ｔｈｅａｍｐｌｉｔｕｄｅｏｆｔｈｅｕｌｔｒａｓｏｎｉｃｖｉｂｒａｔｉｏｎａｎｄｔｈｅａｐｐｌｉｅｄｅｌｅｃｔｒｉｃｆｉｅｌｄｓｔｒｅｎｇｔｈｈａｖｅｔｈｅ
ｇｒｅａｔｅｓｔ ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｏｎ ｓｕｒｆａｃｅ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ. Ｔｈｅ ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｏｆ ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ ａｎｄ ｅｌｅｃｔｒｏｒｈｅｏｌｏｇｉｃａｌ
ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｐｏｌｉｓｈｉｎｇｐｒｏｃｅｓｓｐａｒａｍｅｔｅｒｓｏｎ ｔｈｅ ｓｕｒｆａｃｅｒｏｕｇｈｎｅｓｓａｆｔｅｒ ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ ｗａｓｓｔｕｄｉｅｄｂｙ ｔｈｅ
ｓｉｎｇｌｅ ｆａｃｔｏｒ ｔｅｓｔ. Ｔｈｅ ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓｖｅｒｉｆｙ ｔｈｅ ｆｅａｓ
文档评论（0）