超微进给工作台及超薄切片机.PDF

. 第 1 6 卷 第 1 期 仪 器 仪 表 学 报 o 1 6 V 1 l 翅 . 1 9 9 5 2 I N ES E C N T O F I EN T I F I I N S T EN T F e 1 9 9 b5 年 月 H JO A U S C C U M 超 微 进 给 工 作 台 及 超 薄 切 片 机 庄 夔 庄 永方 王 玉 民 邵 柄 坤 (上 海 大 学) 【 要 】 文 论 了几种 可 行 的方 , 设 计 了一 个 型 的一 超 微 进 给 工 台 , 并介 绍 了我 提 本 证 案 小 维 作 校 研 制 的 C Q R 一 l 型超 薄切 片机 的工 作 原 理 , 设计 要 点和 使 用 情况 , 该机 可 切 厚 度 为 5一 1n5 m 的 。 , 士 m 电镜样 品 其 允许 的厚 度 误 差 仅 为 n O 超 微进给 机 构 超 微进 给工 作 台主要 用 于 精 密仪 器 的微调 、 微进 给 和超 薄切 片机 上 , 它可 以实现 纳米 级 的 微位 移 , 其 主体 就是 超 微进 给 机 构 , 采用 哪一 种最 简 单 合 用 的机 构来 获 得精 确 的 微位 移 ,