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定制磁控溅射系统采购项目项目询价文件 一、项目编号：材料与能源学院2017号二、项目名称：定制磁控溅射系统采购项目三、采购预算：18万元 四、采购设备清单与技术参数 仪器设备名称 技术指标 数量 单位 参考图样 定制磁控溅射系统 *沉积室：圆筒形前开门结构，尺寸Ф300mmx300mm，304优质不锈钢真空腔室；气缸助力上开盖结构，上盖正中心安装一个CF35陶瓷封接四芯电极; *沉积阴极：数量：3个，Ф1英寸靶：1个，Ф50mm靶2个共焦成膜（溅角度可调），分布在一个圆周上，各阴极可独立/顺次/共同工作，阴极安装在一个RF300法兰上，磁控靶可手动升降。 *基片台：Ф50mm，加热温度：室温—800°C，转动速度0—20转/分连续可调。 手动挡板组件：3套 *复合分子泵:600l/s，机械泵：4L/S，插板阀CF150手动 *极限真空：6.6×10-5pa *气体质量流量控制器3路 直流电源：2台，全自动调谐射频电源：1台 供电电源：三相380V，50Hz，容量15A 整机尺寸：700*1000*1400（宽×长×高） *交货期：合同签订后30天交货。 *质保期：3年 1 套 五、基本要求 1.本招标文件要求中，凡标有“★”的条款为“不允许负偏离的条款”，报价文件对这些条款的任何负偏离，将导致其成为无效报价。报价人在响应询价文件中对这部分内容应尽量列出具体参数或作出详细应答。 2.报价人应提供已注册品牌制造商原装、全新的、符合国家及用户提出的有关质量标准的设备。设备在正确安装后，能确保在正常的使用过程中安全、可靠，并达到有关规定的要求。设备应符合中国政府颁布的产品、质量、技术、安全标准及环保标准 3.所有货物及设计、制造、测试和安装都应符合采购时已颁布的现行中国国家或国家认可的（部颁、行业）标准和国际标准化组织以及等效或更优的其他国家的权威性标准和规范的有关条文 六、交付使用时间及地点 1. 交货时间：合同签订后30天内。 2. 交货地点：用户指定地点。 七、质量保证和售后服务 ★1.设备免费保修期限：验收合格后3年，保修期自双方代表在货物安装调试后的验收证明文件上签字之日起计算。 2.质保期内，如货物或零部件因质量原因出现故障而造成短期停用时，则质保期和免费维修期相应顺延。如停用时间累计超过60天则质保期重新计算。 3.在保修期内，如货品非因采购人的人为原因而出现的问题由中标人负责包修、包换或包退，并承担修理、调换或退货的实际费用。 4.保修期内，中标人负责对其提供的货物整机进行维修和系统维护，不再收取任何费用，但非中标人责任的人为因素、自然因素（如火灾、雷击等）造成的故障除外。 5.货物故障报修的响应时间为2小时，且在8小时（连同前面时间计算）内处理完毕。规定时间内未处理完毕的，中标人在24小时内提供不低于同等档次货物供用户使用至故障货物能正常使用为止。 6.保修期间，同一硬件一个月内连续2次出现同一故障，中标人须无偿更换同一档次货物。 八、评审方法 在满足用户需求的前提下，按“价低者得”的原则确定成交供应商。 ★九、付款方式 1.中标人在货款结算时需交纳合同总金额5%的保修保证金给采购人，中标人在保修期间能履行保修条款及服务承诺，保修期满，采购人即不计利息返还其保修保证金。 2.中标人货物安装调试完毕并经双方对货物进行验收合格后，开具全额销售发票给采购人，付款按广东工业大学支付的有关规定办理。