PMMA成膜特性的研究.docxVIP

P MMA夏安华，李广强（安庆新曙光 P MMA 夏安华，李广强 （安庆新曙光精细化工有限公司，安徽 安庆 246000） 摘要：研究了 PMMA 膜的成膜方法、成膜特性以及作为气敏材料的应用。实验结果表明，PMMA 的表面粗糙度与转速密切相关，转速越 大，表面粗糙度越小。PMMA 的膜厚符合液体动力学方程，旋涂速度越大，膜厚越薄。当旋涂速度为 6000rpm 时，可得到厚度为 42nm 的 PMMA 膜，完全符合气敏材料对膜厚的要求。 关键词：聚甲基丙烯酸甲酯；表面粗糙度；膜厚；气敏材料 doi：10.3969/j.issn.1008- 553X.2011.04.018 中图分类号：TQ325.7 文献标识码：A 文章编号：1008- 553X（2011）04- 0049- 03 1 前言 聚甲基丙烯酸甲酯 （Polymethylmethacrylate，简称 PMMA）作为一种典型的有机聚合物材料，因其具有很 好的化学稳定性和光学特性，在非线性光学、工业有机 玻璃以及气体传感器等方面都具有重要的应用[1- 3]。气体 传感器可用于探测挥发性有机气体如醇类、苯类以及氯 仿等，一般包含三大部分，即气敏元件、转换元件以及转 换电路[4]。PMMA 材料因其对氯仿、甲苯以及二甲苯等有 独特的吸附作用而成为一种常用的气敏材料[3]。 气体传感器的传感性能与气敏材料的特性息息相 关[5]