磁控溅射旋转圆柱阴极靶关键技术研究与结构设计.doc

磁控溅射旋转圆柱阴极靶关键技术研究与结构设计 磁 控 溅 射 旋转 圆柱 阴极 靶 关 键 技 术 的 研究 与 结 构 设 计 Key Technology and Structure Design of Cylindrical Rotating Cathode Target for Magnetron Sputtering 作 者 姓 名 穆 怀 普 学 位 类 型 工 程 硕 士 学 科、 专 业 机 械 工 程 研 究 方 向 流 体传动 与控制 导 师 及 职 称 陈长琦教授2012 年 4 月 磁 控 溅 射 旋 转 圆 柱 阴极 靶 关 键 技 术 的 研 究 与 结 构 设 计 摘 要 磁 控 溅 射 旋 转 圆 柱 阴极 靶 ( 简 称 旋 转 靶 ) 自 发 明 至 今 , 已 经 被 广 泛 的 应 用 于 工 业 化 制 备 大 面 积 功 能 薄 膜 的 生 产 中 。 虽 然 经 历 了 几 十 年 的 发 展 和 创 新 , 旋 转 靶 在 工 业 生 产 中 仍 然 存 在 着 如 下 问 题 : 在 靶 材 表 面 上 垂 直 于 电 场 的 磁 场 分 布 不 均 匀 , 造 成 靶 材 被 溅 射 刻 蚀 不 均 匀 , 使 靶 材 利 用 率 降 低 ; 阴 极 冷 却 换 热 参 数 设置 不 合 理 , 使 得 靶 不 能 充分 冷却 , 造 成 其 工 作 稳 定 性 差 , 最 终 影 响 镀 膜 质 量 。 论 文 基 于 辉 光 放 电 、 磁 控 溅 射 、 等离子体 、 电 磁 场 和 传 热 学 的 基 本 理 论 , 对 旋 转 靶 的 关 键 技 术 进 行 了 系 统 的 研 究 。 实 现 了 工 业 化 规 模 生 产 用 的 一 种 新 型 磁 场 结 构 的 旋 转 靶 设 计 的 研 究 目 标 。 首 先 , 利用 ANSYS 有 限 元 方 法 模 拟 计 算 , 得 到 了 旋 转 靶 磁 控 阴 极 垂 直 于 电 场 方 向 的 磁场分量 Bx 在 靶 材 表 面 上 的 二 维 磁 场 分 布 规 律 。 并 通 过 改 变 磁 铁 的 宽 和 高 、 磁 铁 间 夹 角 等 关 键 参 数 , 以 及 在 两 边 磁 铁 与 靶 材 间 设 置 可 移 动 磁 性 挡板 等方法 来提高 Bx 的 磁 场 强 度 和 扩 大 靶 材 被 溅 射 所 覆 盖 的 表 面 积 。 其 次 , 计算了 阴极 靶 产生 的热 量 , 分析了 稳 态 工 作 时 的 换 热 过 程 包 括 传导、 对 流 、 辐 射 三 种 方 式 , 通过 计 算 得 到 旋 转 靶 稳 态 工 作 时 的 换 热 参 数 , 为 旋 转 靶 的 设 计 提 供 了 依 据 。 基 于 旋 转 靶 磁 控 溅 射 的 工作原理 和 磁 场 分 析 与 优 化 结 果 , 以及 确 定 的 换 热 参 数 设 计 了 磁 场 结 构 , 并 用 ANSYS 有 限 元 方 法 分 析 计 算 了 其 受 力 变 形 , 结 果 表 明 磁 场 结 构 受 重 力 变 形 不 影 响 磁场分布 。 此外还 对 驱 动 电 机 的 配 置 、 同 步 带 传 动 、 轴 承 、 支 撑 端 、 真 空 静 密 封 和 磁 流 体 密 封 等 关键 结构 进 行 了 相 应 的 分 析 和 设计 计算。 最终 完 成 工 业 化 生 产 用 旋 转 靶 的 设 计 , 为 磁 控 溅 射 旋 转 圆 阴 极 靶 的 进 一 步 开 发 和 磁 控 溅 射 大 面 积 薄 膜 生 产 运 行 可 靠 提 供 了 技 术 支 撑 。 关键词: 旋 转靶 ;磁控溅射;磁场模拟 ;冷却换热;结构设计 Key Technology and Structure Design of Cylindrical Rotating Cathode Target for Magnetron Sputtering ABSTRACT Cylindrical rotating cathode target for magnetron sputtering cylindrical rotating target since the invention to now, has been widely used in industrial area functional film production preparation. Although after decades of developme