液相基底温度对Al薄膜中带状有序结构影响.PDFVIP

( ) 浙 　江 　大 　学 　学 　报 理学版 第 34 卷第 4 期 Journal of Zhej iang University( Science Edition) Vol . 34 No . 4 2007 年 7 月 http :/ / www. journals. zju. edu. cn/ sci J ul . 2007 液相基底温度对 Al 薄膜中带状有序结构的影响 1 2 2 吴一琦 , 方轶君 , 叶高翔 ( 1. 温州大学 物理与电子信息学院 , 浙江 温州 325000 ; 2 . 浙江大学 物理系 , 浙江 杭州 3 10027) ( ) 摘 　要 :研究了液相基底温度对铝 Al 薄膜中具有准周期特征的带状有序结构的影响. 实验发现 , 随着温度的升 高 ,组成带状有序结构的矩形畴块平均长度先增大 ,随后减小. 当沉积条件发生改变时 ,铝薄膜可呈现近似透明或 金属色泽 ,并且在此两类薄膜中均可观察到带状有序结构. 研究表明 ,硅油基底的物理特性随温度的变化对薄膜中 内应力分布及微观结构有着重要的影响. 关 　键 　词 :基底温度 ; 硅油 ; Al 薄膜 ; 内应力 中图分类号 :O469 　　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 :1008 - 9497 (2007) 04 - 409 - 05 WU Yiqi1 , FAN G Yij un2 , YE Gaoxiang2 ( 1. D ep a rtment of P hy s ics , Wenz hou Uni ve rs i ty , Wenz hou 325000 , Chi na; 2 . D ep a rtment of P hy s ics , Z hej i ang Uni vers i ty , H ang z hou 3 10027 , Chi na ) Influence of the liquid substrate temperature on the bandshaped ordered structures in an Al f ilm system. Journal of Zhe j iang U niver sit y ( Science Edition) , 2007 ,34 (4) :409～4 13 Abstract : The t emp erat ure dep endence of t he bandshap ed or dered st ruct ures wit h qua sip eriodic charact eri stics , ex i sting in an aluminum (Al) film syst em depo sit ed on silicone oil sub st rat es , wa s st udied . It wa s found t hat t he aver age lengt h of t he rect angleshap ed domain s in each band increa ses wit h increa sing sub st rat e t emp erat ure at fir st ; t hen it decrea ses. The or dered st ruct ures were ob served in bot h t ran sp arent an