大功率超声技术进展-中国中西医结合学会.PDFVIP

大功率超声技术进展 周光平 (深圳职业技术学院电子系，深圳 518088) 1 引言 功率超声是超声学的一个分支，它是利用超声能量使物质的一些物理、化学和生物特性 或状态发生改变，或者使这种改变的过程加快的一门技术。它常能大幅度提高处理速度和效 率，提高处理质量，完成其它技术不能完成的处理工作，因此，人们正越来越投入更多的力 量，来从事功率超声技术的基础理论、应用、设备制造和工艺的改进的研究中。在诸如超声 清洗、超声塑料和金属焊接、超声加工、超声乳化、混合、粉碎、提取、雾化、除气、声化 学、污水处理、原油处理、中草药提取、超声治疗和超声外科手术等众多功率超声技术中， 超声清洗和超声焊接应用最为广泛，其技术也具有代表性。本文就这两个方面来谈谈近几年 来我国学者在这两个方面取得的工作进展。 2 超声清洗 常用超声清洗设备，通常采用清洗槽式和浸没式振盒，两者的超声产生装置均是用多 个换能器粘贴在一个不锈钢的板上而成的。前者是将这个板放在清洗槽的底部，后者是将这 个板做成一个密封的盒子，可浸没在液体中。工程中，钢板上换能器的布阵方式，即相邻换 能器构成的形状，以及相邻换能器间的距离，不同公司凭经验决定。有的认为要密布，也有 的认为适当增大换能器间的距离有节省成本和提高效果的作用。同时，长期以来，一般认为 当钢板上的换能器用同一个信号源激励时，钢板整体作活塞运动。针对这一问题，国内学者 对换能器的布阵方式对板的振动分布，以及对应的声场的影响开展了研究，研究认为换能器 的布阵方式对振动分布，进一步对其声场特性有很大的影响。图 1 至图 4 是一个振动分布的 计算结果，它表明板的振动不是活塞式的，有关问题在深入研究之中。 图1 单换能器激励的板声源 图2 单换能器激励的板声源振动仿真结果 图3 双换能器激励的板声源 图4 双换能器激励的板声源振动仿真结果 在超声波清洗中，由于声场是在有限空间中产生，因而不可避免出现驻波现象，使声场 和空化出现不均匀，这对超声清洗不利。为改善声场的均匀性和提高清洗质量，人们研究了 两种方法，其一是改变清洗槽的形状，其二是利用多频。针对第一种方法，人们研究了声波 扩散法等方法。采用多频方法，是基于不同频率的超声有不同的驻波分布，因而有效改变了 声场的均匀性。人们研究了双频，比如 28 kHz 和 40 kHz ；三频，比如28kHz 、40 kHz 和 100 kHz ，结果表明多频可以有效改善声场的均匀性（图 5 和图 6 ）。同时能够提高清洗质量，这 是因为不同频率超声波其清洗有不同的针对性，28 kHz 针对顽垢的清洗，40 kHz 针对较为 复杂物体内部和小孔，而 100 kHz 针对微杂质更有效，同时 100 kHz 的超声波有去除气泡， 扩散气泡的效果。在多频清洗中，不同频率超声波的产生有采用不同换能器和同一换能器两 种方法。工作模式有不同频率切换工作和不同频率连续高速变换两种方式。连续高速变换方 式在槽中可在槽中产生高次谐波，有关的问题有待进一步研究。 图5 单频与多频声压分布 图6 多频的声场铝箔腐蚀图 针对硅晶片、液晶屏、硬盘、光盘、光学部件镀膜前，精密机械电镀前亚微米粒子的 清洗，发展了兆赫级超声清洗设备。这种设备的工作频率在 800kHz－3MHz，清洗方式分为 槽式和流水式。在流水式清洗中，超声产生在流动的液体中，被洗件无需浸入清洗剂中，不 会发生污物再附着。流水式有点流和线流( 图7、图 8)，线流的宽度从 30mm 到 580mm 不等。