混合型表面等离子体波导的传输特性分析-电子与通信工程专业论文.docxVIP

摘 摘 要 - - I - 万方数据 摘 要 表面等离子体激元是具有亚波长局域和近场增强特性的表面电磁波，产生于介电 常数符号相反的材料界面两侧，在金属中的趋肤深度比入射波长小两个数量级，局域 电磁场的能力具有克服衍射效应的潜力，这在纳米光子学，特别是光子互连方面具有 深远的影响。设计和研究基于表面等离子体激元的器件已经成为当今纳米光子学领域 的热门课题。 本文提出了两种混合型表面等离子体波导：硅基混合型表面等离子体波导和带缝 隙的混合型表面等离子体波导，利用有限元法对上述波导的传播特性分别进行了分析 和研究。对于硅基混合型表面等离子体波导，基模模场主要分布于介质楔尖端与金属 膜之间，随着缝隙距离的增加，有效折射率和品质因数下降，传播长度和模式面积增 大，但有效折射率变化相对缓慢。随着介质层宽度的增加，有效折射率和模式面积增 大，传播长度和品质因数减小，但有效折射率变化迅速。随着空气槽宽度的增加，有 效折射率、模式面积、传播长度和品质因数都增大。当介质楔尖端到金属层的距离为 2.5nm，空气槽两边的介质层宽度为 5nm，空气槽宽度为 275nm，金属膜宽度为 285nm， 金属层厚度为 100nm，空气槽的深度为 120nm，空气槽下部的硅层厚度为 350nm 时 硅基混合型表面等离子体波导的归一化模式面积为 0.00082，传播距离为 702μm，品 质因数达到1.4?10