激光测振新方法的分析-光学专业论文.docxVIP

激光测振新方法的研究 激光测振新方法的研究 i i ii ii 摘 要 随着精密机械加工与检测、医学诊断等方面的需求与发展，人们迫切需要在 微米甚至纳米量级对微小振动进行精确定位、加工、操作、检测和监控，同时对 测量技术的要求也日益提高，要求测量向着实时、非接触、高灵敏度、智能化的 方向发展，以获得测量对象面内的或离面的微小位移量大小。本文基于迈克尔逊 干涉仪和激光多普勒技术构建了光学干涉测量系统，利用偏振分束器、波片等光 学器件获得四路正交且强度相等的干涉信号合成李萨如图形，由李萨如图形的圆 心角来测量微振动位移的大小。 第一章阐述了激光干涉测量原理及几种激光测振方案，介绍了四种经典的干 涉仪，同时就本论文主要内容作了概述，介绍了它的特色与优势。 第二章详细阐述了实现信号正交的两种方法：相位载波零差解调法和双光路 平衡探测法，并利用李萨如图形验证了信号的正交特性。 第三章详细介绍了二分之一波片和四分之一波片的作用，分析了影响波片相 位延迟量的各种因素，为实验光路的整体设计提供了依据。 第四章详细介绍了噪声处理的方法。在对噪声来源进行分析的基础上，构建 了迈克尔逊干涉仪，以实验室自制的单频窄线宽全保偏光纤激光器作为光源，降 低了光源的相位噪声；通过芯片、电阻和电容等电子元器件的仔细选择，降低了 解调电路的整体噪声；通过互阻抗电路，对光电接收系统进行了降噪处理；并且 采用了光源光电负