先进制造工 艺技术概述1教材编辑.pptVIP

精密工程与纳米技术是衡量现在制造技术水平的重要指标之一，是现代制造技术中最活跃的因素。 精密工程包括精密加工技术和超精密加工技术；纳米技术通常是指纳米级制造技术，实际上它是超精密加工技术的一部分，代表了超精密加工的最高水平，受到了世界各个工业发达国家的重视。 二、精密工程和纳米技术 目前，大多数学者都将精密和超精密加工技术分为机械和非机械两大类，同时以加工半导体和制作集成电路为背景，提出了微细加工技术，以后又出现了反映当前最高精度的纳米加工技术。 (1)机械精密和超精密加工技术 主要指金刚石刀具超精密切削、金刚石微粉砂轮超精密磨削、精密研磨和抛光等传统加工方法及其微型化。 (2)非机械精密和超精密加工技术。主要指微电子束加工及离子束加工、激光束加工等非传统加工及其微型化。可以很明显地看出,所谓非机械超精密加工技术实际上就是超精密特种加工。 (3)微细加工技术。微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术。它是在半导体集成电路制造技术的基础上形成并发展的,是大规模集成电路和计算机技术的基础,是信息时代、微电子时代、光电子时代的关键制造技术之一。 在微细加工时,由于加工尺寸很小,精度是用去除材料大小的绝对值来表示,引入了加工单位尺寸的概念。加工单位尺寸i简称加工单位,它表示去除材料的大小,例如:原子加工单位表示能去除一个原子。 下图示意表示了常用的非机械微细加工 微细加工的发展出现了超微细加工,它们都以电子束、离子束和激光束三束加工为基础，采用沉积、刻蚀、溅射和蒸镀等加工手段进行各种处理。 （4）纳米技术 纳米技术是当前先进制造技术发展的热点和重点，通常指0.1~100nm的材料、产品设计、加工、检测及控制等一系列技术。它是科技发展的一个新兴领域，它不是简单的“精度提高”和“尺寸缩小”，而是从物理的宏观领域进入到微观领域，一些宏观的几何学、力学、热力学和电磁学等都不能正常描述纳米级的工程现象与规律。 纳米技术主要包括:纳米材料、纳米级精度制造技术、纳米级精度和表面质量检测、纳米级微传感器和控制技术、微型机电系统和纳米生物学等。 微型机电系统(Micro electro mechanical systems, MEMS)是指集微型机构、微型传感器、微型执行器、信号处理、控制电路、接口、通信和电源等于一体的微型机电器件或综合体，它是美国的惯用词，日本习惯地称为微型机械(Micro machine)，欧洲称之为微型系统(Microsystems)，现在大多称为微型机电系统，它可以认为是一个产品，如图2所示。 目前,微型机电系统的发展前沿主要有：微型机械学研究、微型结构加工技术(高深宽比多层微结构的表面加工和体加工技术)、微装配、微键合、微封装技术、微测试技术、典型微器件及微机械的设计制造技术等。 三、计算机集成制造系统CIMS 制造科学和工程技术专家总结了制造系统的发展，将其分为四个阶段。 (1)刚性自动线。现在仍然是单一品种大批量生产自动化的主要形式。 (2)柔性制造系统。它是在数控机床和加工中心的基础上发展起来的。它由数控机床和加工中心(一般为2至8台)、物流、检测和清洗等装备构成，具有工件的自动加工、运输、存储、上下料和检测等功能，实现了高度的自动化和高柔性。 (3)集成制造系统。 它是在计算机系统、网络和数据库的支撑环境下，由以计算机辅助设计为核心的工程信息分系统、计算机辅助制造为中心的柔性制造分系统、计算机管理信息分系统和计算机质量管理分系统所组成，体现了功能集成、信息集成、过程集成、人机集成和学科集成，实现了车间、工厂的综合自动化。计算机集成制造系统很快就发展为并行工程，它是在集成的基础上并行有序地设计和开发产品全生命周期的各个过程的系统方法，它要求产品开发人员在设计一开始就能考虑产品从概念形成到报废处理的所有因素，从而能够缩短产品开发周期，提高质量，降低成本，增强企业竞争能力。 (4)智能制造系统。它是发挥人的创造能力和具有人的智能的制造系统，制造工作者认为它是当前制造系统发展的最高阶段，展现了与人类智能行为相关的特性，如理解语言、学习能力、逻辑推理和解决问题等能力，能够深入了解人脑活动机理，取代人的部分脑力劳动，强调企业的自组织能力。 智能制造技术的内容大体包括专家系统、模糊推理、人工神经网络和遗传因子等方面，其表现形式有智能制造单元和系统，如智能数控机床、智能机器人、制造过程的智能控制、智能监测与诊断系统等。 四、 特种加工技术 特种加工由于具有工具的强度和硬度可以低于工件的强度和硬度的特点，因此适于加工高硬度材料、脆性材料等难加工材料：由于它不是靠力来进行加工，所以适于加工微细零件、薄壁零件、弹性零件：又由于工具损耗很少，因此适于舶工复杂成形表面和型腔等模具零件。 （1）电加