甲苯气体传感器的制备-光学工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工 作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地 方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含 为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明 确的说明并表示谢意。 作者签名： 日期： 年 月 日 论 文 使 用 授 权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁 盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文 的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或 扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 作者签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 万方数据 万方数据 摘 要 摘 要 VOCs（挥发性有机化合物）气体已经成为大气污染物之一，甲苯作为 VOCs 中的一种，正严重的威胁着人类的身体健康和赖以生存的自然环境。检测 VOCs 气体的气敏材料主要有：金属氧化物半导体材料、高分子聚合物、聚合物/无机复 合材料等。聚合物/无机复合材料可在室温下使用，既可以发挥高分子聚合物气敏 材料可以针对检测对象进行适当的改性、修饰、设计合成的特点，又可以综合其 它无机材料的气敏响应特性，在一定程度上改善了传感器的选择性、灵敏度、稳 定性等各项指标。面对日益严重的大气污染问题，研制出低成本、微型化、智能 化、具有较高灵敏度和稳定性的甲苯气体传感器势在必行。本论文将高分子/无机 复合气敏材料作为气敏材料，采用气喷工艺在叉指电极上制备新型甲苯传感器。 主要工作包括： 采用气喷工艺和旋涂工艺在叉指电极上制备出聚合物/无机复合膜气体传感 器，并测试其对甲苯的气敏响应。研究表明，气喷法制备的 P4VP（聚 4-乙烯基苯 酚）/MWNTs 复合膜对甲苯的气敏响应要优于旋涂法制备的复合膜，P4VP/MWNTs 复合膜对甲苯的气敏响应特性要优于 P4VP/CB 复合膜。同时，还结合薄膜 SEM 表 征对其原因进行了分析和讨论。 采用气喷工艺在叉指电极上制备聚合物/无机多层膜气体传感器，测试其对甲 苯的气敏响应。研究表明，聚合物/无机多层膜传感器对甲苯的响应都呈现出一定 的线性。PEO（聚环氧乙烷）/MWNTs 双层膜对甲苯的气敏响应优于 P4VP/MWNTs 双层膜，PEO/MWNTs 双层膜对甲苯的气敏响应优于 PEO/MWNTs 复合膜， PEO/MWNTs 三层膜和 P4VP/MWNTs 三层膜的响应优于 PEO/MWNTs 双层膜和 P4VP/MWNTs 双层膜。说明在相同的膜结构下，PEO 作为气敏材料比 P4VP 对甲 苯的响应大。选用 PEO/MWNTs 三层膜对五种 VOCs 气体进行了检测，体现出对 甲 苯 有 较 好 的 选 择 性 。 对 三 层 膜 结 构 的 传 感 器 进 行 了 重 复 性 测 试 ， 发 现 PEO/MWNTs 三层膜在五个测试周期中响应比较稳定，而 P4VP/MWNTs 三层膜则 呈现出略微的衰减。最后结合薄膜的 SEM 表征和可见光光谱分析讨论了聚合物/ 无机材料的气敏机理。 关键词：甲苯气体传感器，聚合物，无机材料，多层膜 I ABSTRACT ABSTRACT VOCs (volitile organic compounds) gases have become one of the pollutants in air. As one of VOCs gases, toluene was a serious threat to human health and natural environment. The main gas-sensing material for VOCs gases were as follows: metal oxides, polymers and polymer/inorganic composites. Polymer/inorganic composites can not only be modified, designed and synthesized for gas sensors, but also can be combined with inorganic materials to improve the selectivity, sensitivity, stability and other parameters. As one kind of the gas-sensing materials, it can be u