集成电路的ESD防护技术研究-集成电路工程专业论文.docxVIP

I I 集成电路的 ESD 防护技术研究 中文摘要 集成电路的 ESD 防护技术研究 中文摘要 静电放电（Electronic-Static Discharge， ESD）是 IC（Integrate Circuit）生产制 造过程中非常普遍的现象，因而 ESD 保护电路也是集成电路设计的重要部分，它直 接影响 IC 的性能和使用寿命。现在 ESD 防护面临着更大的挑战，不但需要满足 ESD 防护的等级，还需要考虑 ESD 防护网络和核心电路之间的相互作用。 本文对集成电路的 ESD 防护技术进行了研究。本文主要分为五个部分：第一部 分是前言，介绍了本文的研究背景及意义，同时介绍了有关集成电路（IC）的 ESD 防护技术国内外的研究现状；第二部分对 ESD 的原理和 ESD 的防护器件进行了论述， 分别介绍了 ESD 的成因、ESD 的失效模式及失效机理，ESD 的四种基本模型，并对 ESD 基本防护器件进行了一定的分析；第三部分是基于 SCR 的集成电路的静电防护 技术，在本章主要分析了 SCR 的工作原理，然后介绍了 SCR 器件的改进措施，最后 对对称式 SCR 防护器件研究与测试验证。第四部分是全芯片的防护设计，主要分析 了内部电路异常损伤问题，然后给出了 Power Clamp 电路的防护设计，并从 RC 触发 的 ESD 防护结构及二极管串的 Power Clamp 电路两个方面进行了阐述，并重点分析 了 RC 触发的 ESD 防护结构。第五部分是全芯片 ESD 测试，对 ESD 判断标准进行了 简要分析，在此基础上对 ESD 的测试结果进行对比和分析。最后对本章进行了小结。 第六部分是总结与展望，提出了本文的不足和未来研究的方向。 关键词：集成电路 ESD 防护技术 研究分析 作 者：陈逸舟 指导老师：王子鸥 II II Abstract ESD Protection Study on IC ESD Protection Optimization Study Of IC Abstract Electrostatic discharge (Electronic-Static Discharge ， ESD) is a very common phenomenon in IC manufacturing process.ESD protection circuit is also an important category in integrated circuit design.ESD protection design directly affects the performance and service life of an IC. Now ESD protection design is facing more challenges，not only it has to satisfy higher ESD protection level，but also it becomes necessary to consider the interaction between ESD protection network and the core circuit. ESD protection technology of integrated circuit was studied in this paper and several new ESD structures were presented. This paper was comprised by five parts. In the preface， the background and significance of this research was introduced. Cutting-edge technology of integrated circuit (IC) ESD protection was discussed. The second part focused on ESD protective device principle. Different failure modes and the genetic failure mechanism of ESD were discussed，at same time four ESD models，and several basic ESD protection devices were analyzed. The third part described abnormal internal ESD damages in ICs，the Power