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第32卷第5期 光学仪器 VOL32。No．5
2010年10月 OPTICALINSTRUMENTS ()ctober。2010
文章编号：1005—5630(2010)05一0044一05
用于傅里叶变换轮廓术的多频光栅设计方法的研究*
杨天领，汪樟海，曹向群，连华
(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，国家光学仪器工程技术研究中心，浙江杭州310027)
transfom
摘要：针对傅里叶变换轮廓术(Fourier
的基本原理基础之上，提出了几种多频光栅的设计和实现方法，通过多频光栅的设计，旨在提高
盯P的测量精度和速度。
关键词：傅里叶变换轮廓术(耵P)；光栅设计；多频光栅
29 doi：10．3969／j．issrL1005—5630．2010．05．010
中图分类号：TN 文献标识码：A
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3l0027，CIli姐)
ZhejiarlgUIliversity，Hangzhou
This for
Abst嗡ct： introducesFouriertransfom (FTP)
paper profilometry practical
thebasic ofF。】^Pbasedonthe
application，inintroducingprinciples multi—frequency
proposed
several and the of to
method，
grating designimplementationdesignmuIti—frequencygrating
themeasurementand FTP．
improve accuracyspeed
transfom
KeywordS：Fourier grating
profilometry(FTP)；gratingdesign；multi—frequency
引 言
傅里叶变换轮廓术(FTP)是一种非接触式三维
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