集成电路栅介质TDDB失效预警电路设计-通信与信息系统专业论文.docxVIP

暨南大学硕士毕业论文 暨南大学硕士毕业论文 PAGE PAGE IV 目 录 摘要 I Abstract II HYPERLINK \l _bookmark0 目 录III HYPERLINK \l _bookmark1 第一章 绪论1 HYPERLINK \l _bookmark2 1.1 研究背景1 HYPERLINK \l _bookmark3 1.2 国内外技术发展现状 3 HYPERLINK \l _bookmark4 1.2.1 集成电路栅介质 TDDB 的研究 3 HYPERLINK \l _bookmark5 1.2.2 集成电路 PHM 技术的研究与挑战 4 HYPERLINK \l _bookmark6 1.3 本课题的来源及主要研究任务 6 HYPERLINK \l _bookmark7 第二章 栅介质 TDDB 失效机制及 PHM 技术方法 7 HYPERLINK \l _bookmark8 2.1 栅介质 TDDB 失效机制 7 HYPERLINK \l _bookmark9 2.1.1 栅介质 SiO2 的性质 7 HYPERLINK \l _bookmark10 Si-SiO2 系统内的电荷 7 HYPERLINK \l _bookmark11 栅介质 TDDB 物理模型 8 HYPERLINK \l _bookmark12 2.2 故障预测及健康管理（PHM）技术方法 11 HYPERLINK \l _bookmark13 PHM 技术介绍 11 HYPERLINK \l _bookmark14 PHM 技术方法 13 HYPERLINK \l _bookmark15 2.2.3 集成电路 PHM 技术设计流程 13 HYPERLINK \l _bookmark16 2.3 本章小结15 HYPERLINK \l _bookmark17 第三章 TDDB 失效预警电路原理和各模块电路的实现 16 HYPERLINK \l _bookmark18 3.1 TDDB 失效预警电路原理 16 HYPERLINK \l _bookmark19 3.1.1 基于预兆单元法的集成电路 PHM 技术原理 16 HYPERLINK \l _bookmark20 3.1.2 TDDB 失效预警电路原理框图 17 HYPERLINK \l _bookmark21 3.2 互不交叠的时钟模块电路实现 18 HYPERLINK \l _bookmark22 传输门 TG 18 HYPERLINK \l _bookmark23 反相器 INV 19 HYPERLINK \l _bookmark24 与非门 NAND 20 HYPERLINK \l _bookmark25 3.2.4 互不交叠的时钟模块电路实现 20 HYPERLINK \l _bookmark26 3.3 应力电压产生模块的电路设计 21 HYPERLINK \l _bookmark27 3.3.1 应力电压产生模块选择 21 HYPERLINK \l _bookmark28 3.3.2 新型电荷泵设计 24 HYPERLINK \l _bookmark29 3. 5 降压模块的电路设计 30 HYPERLINK \l _bookmark30 3. 6 输出模块的电路实现 31 HYPERLINK \l _bookmark31 3.6.1 比较器31 HYPERLINK \l _bookmark32 3.6.2 锁存器32 HYPERLINK \l _bookmark33 3.7 本章小结33 HYPERLINK \l _bookmark34 第四章 TDDB 失效预警电路总体电路图及仿真 34 HYPERLINK \l _bookmark35 4.1 整体电路设计34 HYPERLINK \l _bookmark36 4.2 互不交叠的时钟模块仿真 35 HYPERLINK \l _bookmark37 4.3 应力电压产生模块仿真 35 HYPERLINK \l _bookmark38 4.3.1 启动电压36 HYPERLINK \l _bookmark39 4.3.2 节点电压36 HYPERLINK \l _bookmark40 4.3.3 输出电容 Cout 的影响 37 HYPERLINK \l _bookmark41 4.3.4 容差影响38 HYPERLINK \l _bookmark42 4.4 降压模块仿真39 HYPERLINK \l _bookmark43 4.4.1 降压模块对电荷泵输出电压的