电子探针分析中常见的表观故障.PDF

维普资讯 电子探针分析 中常见的表观故障 牛存义 (国家锕铁材料分析刊试中心 ) 这里所称的表观故障 是指在测量和观 一 、 最常见和 最重要的表现 察中呈现某种异常现象，从表面看来仪器 出 了什么故障，而实际上仪器本身并无实质性 故 障一一不 稳定问题 。 故障的那些现象。 (一 )，柬电流不曩定或曩幡舅移 表观故障影 响实验正常进行 。并且导致 这是 电子探针分析 中最容易出现 ，也是 不正确的实验结果。 最为重要的一种表观故障。出现选种 问题的 由于 电子探针分析仪是一种 由电子光学 最可能原因是 电子光学系统未调整台轴。，苣 系统 ，X射线光学系统 。扫描成象系 统、精 轴是电子探针及其他微束分析仪器的基本工 密机械、核物理 电子学设备等构成的综合仪 作条件 ，因此，合轴调整是从事 电子探针及 器 不仅要求其 巾每一部 分 有 正常工作状 j 态，还需要各部分 问互相掷调一致，整个设 同类仪器的分析工作的专业人员的基本功之 ．| 一 3 备才能正常运转，产生可靠的实验结果。如果 D ▲ 其中哪一部分调整不当，或者和系统其余部 合轴调整包括也子光学系统与X射线光 学系统的合轴，X射线光学系统与光学显微 分不协调一致 ，都可能产生差错 。如果不注 镜的合袖等。就 电子光学系统而盲．包括灯 意这种问题就可能对实验结果作 出错误 的解 丝 栅报、阳极、电子枪、会聚透镜耜物镜 释 ，或者不必要地怀疑设备 出现故障而裹足 - 光栏等的一系列往复调整过程 。我们这里只 不前 。 ● 说明电子光学系统的最终台轴判据，在理想 根据笔者的经验 ，有些异常现象或错误 ’ 合轴条件下 ，电子 光学 系 统麻达到下列状 结果的出现还不限于上述各种原因，而可能 态 ： 是在实验过程中不完全了解或忽视了仪器各 1．物镜 电流变换时．束 电流保持不变， 部分赖 以进行工作的相关 原 理及 其限制条