第二章薄膜的学制备方法2.pptVIP

电镀过程的特点 1. 膜层缺陷（孔隙、裂纹、杂质污染、凹坑等）可以由 电镀工艺条件控制； 2.限制电镀应用的最重要因素之一是拐角处镀层的形成； 3.在拐角或边缘电镀层厚度大约是中心厚度的两倍； （拐角或边缘电场强） 4.多数被镀件是圆形，可降低上述效应的影响。 五、LB成膜技术 Langmuir-Blodgett技术（LB技术）是指把液体表面的有机单分子膜转移到固体衬底表面上的一种成膜技术。得到的有机薄膜称为LB薄膜。 基本原理: 某些有机材料类似与表面活性剂。其分子具有 两性基。 亲水基：醇基（-COOH），羧基（-OH）等； 亲油基（憎水基）：烷烃基，烯烃基，芳香烃基等； CH3 CH2 C O OH 亲水基 亲油基 水 单分子层的转移 根据薄膜分子在基片上的相对取向，LB薄膜可分为X型、Y型、Z型三种类型。 LB薄膜每层分子的亲油基指向基片表面 LB薄膜每层分子的亲水基指向基片表面 LB薄膜每层分子的亲水基与亲水基相连，亲油基与亲油基相连 LB制膜装置 水槽 刮膜板 表面压力传感器 提膜装置 LB薄膜的特点 优点： 1. LB薄膜中分子有序定向排列，这是一个重要特点； 2. 很多材料都可以用LB技术成膜； 3. LB膜有单分子层组成，它的厚度取决于分子大小和 分子的层数； 4. 通过严格控制条件，可以得到均匀、致密和缺陷密 度很低的LB薄膜； 5. 设备简单，操作方便。 缺点： 成膜效率低， LB薄膜均为有机薄膜，包含了有机材料的弱点； LB薄膜厚度很薄，在薄膜表征手段方面难度较大。 LB薄膜的应用 LB技术可以把一些具有特定功能的有机分子或生物分子有序定向排列，使之形成某一特殊功能的超薄膜，如有机绝缘薄膜、非线性光学薄膜、光电薄膜、有机导电薄膜等。它们有可能在微电子学、集成光学、分子电子学、微刻蚀技术以及生物技术中得到广泛应用。 LB薄膜电子束敏感抗蚀层有可能成为超高分辨率微细加工技术的一个发展方向。 有机非线性光学材料具有非线性极化效率高，不易被激光损伤，制备方便等特点，LB技术为有机非线性材料应用提供了重要途径。 六、水热法 水热法是19 世纪中叶地质学家模拟地壳中的水在温度和压力联合作用下的自然成矿作用而开始研究的。1900 年后科学家们建立了水热合成理论,以后又开始转向功能材料的研究。目前用水热法已制备出百余种晶体。水热法又称热液法,属液相化学法的范畴。是指在密封的压力容器中,以水为溶剂,在高温高压的条件下进行的化学反应。水热反应依据反应类型的不同可分为水热氧化、水热还原、水热沉淀、水热合成、水热水解、水热结晶等。其中水热结晶用得最多。 原理: 水热结晶主要是溶解—再结晶机理。首先营养料在水热介质里溶解,以离子、分子团的形式进入溶液。利用强烈对流(釜内上下部分的温度差而在釜内溶液产生) 将这些离子、分子或离子团被输运到放有籽晶的生长区(即低温区)形成过饱和溶液,继而结晶。水热法生产的特点是粒子纯度高、分散性好、晶形好且可控制,生产成本低。用水热法制备的粉体一般无需烧结,这就可以避免在烧结过程中晶粒会长大而且杂质容易混入等缺点。影响水热合成的因素有:温度的高低、升温速度、搅拌速度以及反应时间等。 利用水热法、选择合适的反应溶液，可以将溶胶-凝胶法涂布的湿膜结晶成多晶，甚至是单晶薄膜。主要问题是，形成的晶体薄膜与衬底的粘附较差，由于溶胶湿膜在捷径过程中的收缩，在湿膜较薄时，形成的晶体薄膜很难均匀连续。 与溶胶凝胶法、共沉淀法等其它湿化学方法的主要区别在于温度和压力。水热法研究的温度范围在水的沸点和临界点(374℃)之间, 但通常使用的是130～250℃之间, 相应的水蒸汽压是0.3～4 MPa。过高的温度会产生太高的压强，使工艺的危险性增大。水热反应的反应釜需要专门设计。 与溶胶凝胶法和共沉淀法相比, 其最大优点是一般不需高温烧结即可直接得到结晶粉末, 从而省去了研磨及由此带来的杂质。据不完全统计, 水热法可以制备包括金属、氧化物、和复合氧化物在内的60多种粉末。所得粉末的粒度范围通常为0.1微米至几微米,有些可以几十纳米, 且一般具有结晶好、团聚少、纯度高、粒度分布窄以及多数情况下形貌可控等特点。在超细(纳米)粉末的各种制备方法中,水热法被认为是环境污染少、成本较低、易于商业化的一种具有较强竞争力的方法。 水热法制备超细(纳米)粉末，特别是纳米陶瓷粉体和纳米金属粉体，自七十年代兴起后, 很快受到世界上许多国家, 特别是工业发达国家的高度重视, 纷纷成立了专门的研究