光发射谱对CrTiAlN涂层性能的影响.pdf

第 27 卷第 4 期 中国有色金属学报 2017 年 4 月 Volume 27 Number 4 The Chinese Journal of Nonferrous Metals April 2017 DOI ：10.19476/j.ysxb.1004.0609.2017.04.012 光发射谱对CrTiAlN 涂层性能的影响 刘云超，罗艳艳，朱雪飞，施 雯 (上海大学 材料科学与工程学院，上海 200072) 摘 要：在不同光发射谱(OEM)条件下，采用闭合场非平衡磁控溅射技术(CFUBMSIP)在 SDC99 冷作模具钢表面 沉积 CrTiAlN 涂层，采用 X 射线衍射仪(XRD)、显微硬度仪、原位纳米力学测试系统和销盘摩擦磨损试验机(POD) 测试分析涂层的相结构、表面硬度以及耐磨损性能。结果表明：各条件下制备的 CrTiAlN 涂层均为 FCC 结构， 且在(200) 晶面择优取向；光发射谱值为 65 时，制备的 CrTiAlN 涂层具有较高的表面承载能力以及膜基结合力， 纳米硬度和弹性模量分别为 22.7 GPa 和 276.4 GPa ；OEM65 制备的 CrTiAlN 涂层较 OEM70、OEM80 制备的 CrTiAlN 涂层具有更低的摩擦因数和磨损率，表现出更佳的摩擦磨损性能。 关键词：CrTiAlN 涂层；光发射谱；SDC99 冷作模具钢；非平衡磁控溅射；磨损 文章编号：1004-0609(2017)-04-0760-06 中图分类号：TG178 文献标志码：A 近年来，随着汽车工业迅猛发展，面对能耗、安 emission monitor，OEM)强度定量地表征靶材表面的等 全和环保三大问题日益加剧，汽车轻量化技术越来越 离子体中该元素离子的含量，靶表面被溅射离子的数 备受关注[1−3] ，更多的先进高强度以及超高强度钢板应 量又决定着沉积薄膜的成分，通过调节 OEM 值，继 用在汽车零部件中，因此，对模具质量和性能，尤其 而用压电阀动态控制 N2 流量[8, 12] 。据文献[13−15]报 表面摩擦学性能提出了全新的需求。物理气相沉积 道，通过不同 OEM 值动态控制，获得不同含量 N 的 (PVD) 技术之一的闭合场非平衡磁控溅射技术 CrN 和 TiN 涂层，其优异的表面性能、较低的摩擦因 (CFUBMSIP)具有溅射速度高、基体温度低、涂层均 数以及较高的膜基结合力有效地提高刀具的使用寿 [4] 匀、结合力强等优点越来越广泛应用于工模具中 。 命。本文作者以冷作冲压模具为研究对象，采用 OEM 表面 PVD 涂层能有效地改善和提高模具的表面性能， 值动态控制技术，考察不同 OEM 值对 CrTiAlN 涂层 如硬度、耐磨性、抗摩擦性、耐腐蚀性等，提高模具 成分、相结构与性能影响，旨在实际应用提供理论与 型腔表面抗擦伤、抗咬合等特殊性能[5] 。在冷作模具 实验依据。 钢表面沉积 CrTiAlN 涂层可以显著提高其表面硬度及 耐磨性[6−10] 。然而，在实际应用过程中，模具的服役 1 实验 条件苛刻与复杂，模具的使用寿命很大程度上取决于 涂层性能以及涂层与基体的结合强度，其关键的要素 之一是涂层的成分。 以新型冷作模具钢 SDC99[16]为基体，其化学成分 磁控溅射过程中的离子是由气体或被溅出的原子 如表 1 所列。试样(30 mm ×3 mm ×7 mm，30 mm × 在放电空间会被激发或电离，这些分子或原子在退激