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玲* **
EBR IPA
(Volatile Organic Compounds,
VOCs) 不
理 輪
度
理 率 行 量
參數
行 行 量
異 輪 理 率參數
輪 度度
度 率
輪 參數
* 立 北理
** 立 北理
1
(LCD) (LED)
( )
EBR
IPA
理 輪
料理 率行
參
輪 行 量
度 度
行量
行
不 / (NIEA A715.12B)
10-2mmHg 度 不流
利 冷量
冷
(GC/MS) 37量
68 料理 率
狀
TFT-LCD 行
行 度 離
流
LED LCD 類 5
料量 9,843,174Kg/ 年
(55.12 ) (31.32 ) (5.89 ) (4.5
) (1.88 ) 類
量
(LCD)行
料 理行 量
2
參數 TFT (LCD)
LTPS 料
料 1
異
異
1 料類
66.42
25.45 料
行
170180 不
惡
料類類
料 類 不 類 量 不
量 料()
硫 度輪 參數
量
異
類 類 類
6 類 輪 理
量度 3ppm~12ppm( 500ppm as CH4 )
量 530Nm3 3
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