扫描电镜的图像分析.ppt

（2）粉体：氮化硼、荧光粉钴蓝、氧化物、盐类的EDS测定结果： 曾使用OXFORD公司ISIS-200型EDS分析一个未知物白色粉末，得到如下结果： 粉末未知物 100.00 100.00 100.00 100.00 Total 52.96 40.04 52.40 39.50 Al 47.04 59.96 47.60 60.50 O 重量％ 原子％ 重量％ 原子％ 元素 xx-sp2(90x) xx-sp1(90X) 谱标记 从上表看出，Al与O的原子数比为2∶3，与Al2O3分子中Al与O的原子比完全一样。根据形貌照片 的分析，照片上的颗粒形貌与Al2O3的也非常相似。从而，断定该未知物就是Al2O3。 氮化硼（BN）粉末样品成分分析结果 原子％ 该数值为修正后结果， 没有意义 49.96 50.04 北京中科院物理所 2003年10月 　 　 　 2002年8月 　 45.25 54.75 西安文保中心 　 EDAX 　 　 加速电压测定，硼B峰低 51.35 48.65 2003年10月 　 分别使用20KV、10KV 52.2 47.84 西北有色金属研究院 OXFORD 　 　 　 2002年8月 　 　 56.25 43.75 西安航空618所 　 　 　 　 2003年10月 　 　 49.34 50.66 中科院物理所国家纳米中心 NORAN 理论值（N:B=50:50） 48.87 51.13 2002年8月 　 备 注 氮（N)% 硼（B）％ 测定单位及日期 公司名称 荧光粉钴蓝成分分析结果* 36.20 57.15 O 30.54 28.59 Al 钴蓝分子式 CoAl2O4 ，原子比Co:Al:O4=1:2:4 实测原子比：Co:Al:O4=14.26:28.59:57.15 =1:2:4 分析结果非常理想 33.26 14.26 Co 备注 重量 % 原子 % 元素 * NORAN公司Qunst-2型EDS检测 石膏粉** 100 100 归一 30.98 17.76 Ca 0.22 0.13 K 22.91 16.42 S 0.21 0.17 Si 0.10 0.09 Al 石膏的化学式CaSO4，理论原子比： Ca：S：O=1：1：4 实测原子比： Ca：S：O=17.76：16.42：63.39=1.08: 1: 3.9 分析结果非常好 45.53 65.39 O 备注 重量 % 原子 % 元素 黄金铸粉** 6.11 3.12 Ca 5.03 3.21 S 36.38 26.51 Si 黄金铸粉由CaSO4和SiO2混合而成，经X光衍射分析，这2种组分的比例为20%：80%。由此元素分析算出的比例:21.1%：78.9%，与X光衍射分析结果接近。 计算方法：CaSO4的质量：3.12*136.14=424.8；SiO2的质量 26.51*60.09=1593 总量424.48+1593=2017.8 ；424.8*100/2017.8=21.1% ;1593*100/2017.8=78.9% 52.48 67.15 O 备 注 重量 % 原子 % 元素 ** 用OXFORD公司ISIS-200型EDS分析 * * 扫描电镜的图像分析 主讲：金永中 2010年10月 1 分辨率和放大倍数 扫描电镜分辨率定义为能够清楚地分辨试样上最小细节的能力，通常以清楚地分辨二次电子图象上两点或两个细节之间的最小距离表示，如上图示。 分辨能力是SEM最重要的性能指标，目前，钨灯丝SEM二次电子像的分辨率为3nm～6nm，但是，这不是日常工作能实现的，只是验收指标，它与观察条件、图象的亮度、对比度、信噪比有关。 钨灯丝SEM在日常工作条件下，用普通试样照相，能作到6nm分辨率就相当不易了。在此分辨率下，可以在5万倍以上拍出清晰照片。通常情况下，用3万倍对普通样品照相（如陶瓷、矿物），能给出清晰二次电子照片，就属高水平。 扫描电镜图像放大倍数定义为显示器上图像宽度与电子束在试样上相应方向扫描宽度之比。例如显示器上图像宽度为100mm，入射电子束在试样上扫描宽度为10μm, 则放大倍数M为： M= 100mm/10μm =10000 因显示器上图像宽度一定，只要改变电子束在试样表面的扫描宽度，就可连续地几倍、十几倍直至几万倍地改变图像放大倍数。放大倍数调整范围宽是扫描电镜的一个突出优点，低倍数便于选择视场、观察试样的全貌，高倍数则观察部分微区表面的精细形貌结构。 另外