面向微波应用的铊系高温超导薄膜研究-电子科学与技术;物理电子学专业毕业论文.docxVIP

南开大学学位论文使用授权书根据《南开大学关于研究生学位论文收藏和利用管理办法》，我校的博士、硕士学位获 南开大学学位论文使用授权书 根据《南开大学关于研究生学位论文收藏和利用管理办法》，我校的博士、硕士学位获 得者均须向南开大学提交本人的学位论文纸质本及相应电子版。 本人完全了解南开大学有关研究生学位论文收藏和利用的管理规定。南开大学拥有在 《著作权法》规定范围内的学位论文使用权，即：(1)学位获得者必须按规定提交学位论文(包 括纸质印刷本及电子版)，学校可以采用影印、缩印或其他复制手段保存研究生学位论文， 并编入《南开大学博硕士学位论文全文数据库》；(2)为教学和科研目的，学校可以将公开 的学位论文作为资料在图书馆等场所提供校内师生阅读，在校园网上提供论文目录检索、文 摘以及论文全文浏览、下载等免费信息服务；(3)根据教育部有关规定，南开大学向教育部 指定单位提交公开的学位论文；(4)学位论文作者授权学校向中国科技信息研究所和中国学 术期刊(光盘)电子出版社提交规定范围的学位论文及其电子版并收入相应学位论文数据库， 通过其相关网站对外进行信息服务。同时本人保留在其他媒体发表论文的权利。 非公开学位论文，保密期限内不向外提交和提供服务，解密后提交和服务同公开论文。 论文电子版提交至校图书馆网站：http：#202．1 13．20．161：80016ndex．htm。 本人承诺：本人的学位论文是在南开大学学习期间创作完成的作品，并已通过论文答辩： 提交的学位论文电子版与纸质本论文的内容一致，如冈不同造成不良后果由本人自负。 本人同意遵守上述规定。本授权书签署一式两份，由研究生院和图二15馆留存。 作者鹫授权人签字： 迸蝰 2010年5月28日 南开大学研究生学位论文作者信息 论文题目 面向微波应用的Tl系高温超导薄膜研究 姓 名 游峰 学号 1120070097 答辩日期 年月 日 论文类别 博士■ 学历硕士口 硕士专业学位口 高校教师口 同等学力硕士口 院／系／所 信息技术科学学院 专 业 物理电子学 联系电话 13lEmail youfengnk@yahoo．COIn．Cll 通信地址(邮编)：天津市南开区卫津路94号南开大学电子系 备注： 是否批准为非公开论文 否 注：本授权书适用我校授予的所有博士、硕士的学位论文。由作者填写【二式两份)签字后交校图书 馆，非公开学位论文须附《南开大学研究生申请非公开学位论文审批表》。 摘要摘要 摘要 摘要 T1．2212高温超导薄膜具有超导转变温度高、临界电流密度大、微波表面电 阻低以及环境稳定性好等优点，是制作高性能超导微波无源器件的优良材料。 在制备TI．2212高温超导薄膜的众多衬底材料中，蓝宝石和MgO单晶基片具有 适中的介电常数和较低的微波损耗，因此非常适合于在微波领域的应用。特别 是大面积的蓝宝石单晶基片价格相对较低，对T1．2212高温超导薄膜在微波领域 中的应用和推广有着重要的意义。 本论文系统研究了在蓝宝石和MgO衬底上制备T1．2212高温超导薄膜的生 长规律，深入研究了不同工艺条件对超导薄膜结晶质量及超导性能的影响，并 制备了高质量的面向微波应用的大面积高温超导薄膜。本论文的具体研究内容 和研究成果如下： 1、以金属铈作为溅射靶，采用射频磁控反应溅射的方法在蓝宝石(1102) 衬底上原位生长-jCe02缓冲薄膜。研究了不同的生长工艺对Ce02薄膜晶体结构、 表面形貌以及基片和缓冲层界面处元素扩散的影响。在最佳工艺条件下生长的 厚度为40 nln的Ce02缓冲薄膜具有较好的结晶质量和较低的表面粗糙度，并且可 以有效阻止基片中的元素扩散至T1．2212超导薄膜中。 2、系统研究]Ce02缓冲层的生长工艺条件对T1．2212超导薄膜晶体结构和超 导电性的影响。在最优化工艺条件下制备的T1．2212超导薄膜具有较好的c轴取向 一致性。薄膜的最高超导转变温度乃可达107 K，临界电流密度以达N6 MA／Gmz (77K，OT)。 3、在10 mm×10 nlln的双面抛光蓝宝石基片上以Ce02薄膜作为缓冲层生长 了双面T1—2212超导薄膜。薄膜具有较高的结晶质量和两面一致性，瓦达到106．7 K，临界电流密度分别为4．25 MA／cm2和5 MA／cm2(77 K，0 T)。 4、在直径为2英寸的双面抛光蓝宝石基片上研制出了高质量的双面T1．2212 高温超导薄膜。测试结果表明，在整个基片范围内薄膜具有均匀的超导电性分 布，超导转变温度疋大于105 K，A T小于0．3 K。在77 K，O T条件下薄膜的 临界电流密度以均大于1．5 MA／cm2，微波表面电阻B小于450衅(77 K，10 GHz)，表明薄膜具有良好的微波性能。 5