单晶硅振动环陀螺仪的制作.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ １１ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．１１ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１０ １１ Ｎｏｖ．２０１０ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１０１１２４５４０７ 　 单晶硅振动环陀螺仪的制作 张 明，陈德勇，王军波 　 （中国科学院 电子学研究所 传感技术国家重点实验室北方基地，北京 １００１９０） 摘要：为了简化电容式振动环陀螺仪的制作方法，进一步提高成品率，提出了一种结合反应离子深刻蚀（ ）与阳极键 ＤＲＩＥ 合的陀螺仪制备方法。分析了振动环陀螺的工作原理，指出了传统工艺存在的缺陷；对该制作方法所采用的工艺流程进 行了详细设计，分析了不同工艺参数对陀螺仪性能的影响，并依据分析和实验结果改进了工艺流程和参数。最后，采用 该方法制作了振动环式微机械陀螺仪并进行了测试。实验结果表明，采用该方法能成功制作电容间隙为 ３ ｍ、厚度为 μ 的振动环式陀螺仪微结构。与传统的制作方法相比，工艺流程大为简化，掩模板数量从 块减少到 块，满足器 ８０ ｍ ７ ２ μ 件性能可靠、工艺简单、成品率高的要求。 关 键 词：微机械加工工艺；深刻蚀；阳极键合；振动环陀螺 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ Ｕ６６６．１２３ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ２４５４ 　　 　　 犉犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀狅犳狊犻狀犾犲犮狉狊狋犪犾狊犻犾犻犮狅狀狏犻犫狉犪狋犻狀 狉犻狀 狉狅狊犮狅犲 犵 狔 犵 犵犵狔 狆 ， ， ＺＨＡＮＧＭｉｎ ＣＨＥＮＤｅｏｎ ＷＡＮＧＪｕｎｂｏ ｇ ｙ ｇ （ ， ， 犛狋犪狋犲犓犲 犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅 犜狉犪狀狊犱狌犮犲狉犜犲犮犺狀狅犾狅 犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犈犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊 狔 狔 犳 犵狔 犳 ， ， ）