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25 5 Vol. 25 No. 5
2007 9 P otograp ic Science and P otoc emistry Sept. , 2007
综 述
余尚先, 杨金瑞, 顾江楠
( , 100875)
: 本文对含重氮萘醌化合物的翻转成像体系作了详细的总结. 所述翻转
成像体系主要分为三 , 其 一主要是通过脱羧反应酯化反应酰胺化反应等化
学反应生成碱难溶性化合物, 使原本通过曝光显影可获得的阳图图像翻转成
负像; 其二是以重氮萘醌化合物为产酸剂, 通过酸的催化作用使交联剂与成膜
树脂发生交联反应, 或发生脱保护基的反应, 实现翻转成像; 还有 一 是利用近
紫外光和高能射线相结合实现翻转成像. 第一 和第三 翻转成像体系在抗蚀
剂方面可能有较大的应用价值, 而第二 翻转成像体系可能在印刷版材方面有
一定的应用前景.
: 重氮萘醌化合物; 翻转成像; 抗蚀剂; 印刷版材
: 1000-3231(2007) 05-0387-09 : T Q57 : A
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