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薄 膜 光 学 金属反射膜 离子辅助IAD IAD技术是在电子束蒸发的同时用离子束轰击，离子由离子源产生，离子束由栅极引出，电子枪和离子源各自独立工作。膜层在离子的轰击作用下获得能量，使结构得到改善。 反应离子镀 反应离子镀（RIP）是个混合蒸发的过程：在电子枪蒸发的同时，等离子体发生源灯丝与电子枪蒸发材料的坩埚之间产生放电，被引入的反应气体与蒸发材料都被部分电离为等离子体，并在电场中被加速，在气体放电中离子与离子、离子与电子发生碰撞并反应，在荷能粒子的轰击下薄膜凝结基底表面。 离子体增强的离子辅助技术 等离子源采用热阴极、筒状阳极及轴向发散形磁场，在辅助沉积过程中，放电气体(Ar气)进入APS源，放电产生的等离子体在交叉电磁场的作用下被拔出APS，并在电磁场作用下漂向基板，放电气体形成的等离子体形成一个园维体充满基板下的空间。这时充入反应气体(O2等)，等离子体电离并激活反应气体及从电子枪蒸发出的材料分子，并在基板上得到符合化学计量比的电介质薄膜。 高真空 镀膜机 1.真空系统 2蒸发系统 3控制系统 4辅助系统 机械泵原理图 油扩散泵 扩散泵示意图 1加热器 2泵心 3泵体 钟罩镀膜机示意图 1加热 2玻璃 3蒸发源 4钟罩 电子枪示意图 薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 假设两个反射板是对称的则： 薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 如果考虑反射相移不是常数则需要加上 一个修正系数 薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 由于全介质多层反射膜只在有限的区域是有效的，因此滤光片透射率峰值的两边会出现旁通带．在大多数应用中，必须将它们抑制掉．短波旁通带只要在滤光片上叠加一块长波通吸收玻璃滤光片很容易去掉，但是很不容易得到短波通吸收滤光片，有些可供利用的吸收滤光片虽然能有效地抑制长波旁通带，但因其短波方面的透射率太低，大大降低了整个滤光片的峰值透射率。解决这个问题的最满意的办法是干脆不用吸收滤光从而是把后面将要讨论的诱导透射滤光片作为截止滤光片使用，通常将构成最后的滤光片的三个组件胶合成一个整体。 薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 多腔（半波）滤光片 简单的全介质法布里—珀珞滤光片的透射率曲线并不是理想的形状，可以证明，在任何级次的滤光片中，透射能量的一半是在半宽之外的(假定入射光束的能量随波长均匀分布)， 因此透射率曲线愈接近矩形愈好，在电学中， 当多个调谐电路相耦合时，合成的频率曲线比单个调谐电路的频率曲线更接近矩形，对于法布里-珀珞滤光片也发现了相似的结果。 薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 在双半波滤光片中可以看到，滤光片的结构为：介质反射膜/间隔层/介质反射膜/间隔层/介质反射膜”．但是滤光片也可以是混合结构，例如用一层金属膜如银膜代替两间隔之间的介质反射膜形式如下： 介质反射膜/间隔层/金属膜/间隔层/介质反射膜 这时金属诱导透射滤光片的基本形式 这种滤光片的最大好处：长波无次峰、透射率较高 金属诱导透射滤光片 薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 在双半波滤光片一节中可以看到，滤光片的结构为“介质反射膜l间隔层1质反射膜I间隔层l介质反射膜”。但是滤光片也可以是混合结构，例如用一层金属膜如银膜代替两间隔层之间的反射膜则组成了介质反射膜/间隔层/金属膜/间隔层/介质反射腹这种组合滤光片。它和上述全介质双半波滤光片一样易于制做，只要设计正确，这种滤光片正是诱导透射滤光片。 薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 势透射率的概念 在膜系中包含金属层，且出射导纳Y=x+iz 对于包含吸收层的多层膜 诱导透射原理 薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 根据上面的定义，势透射率也是界面a和界面b的能流密度即坡印廷(Poynting)矢量模之比 由薄膜矩阵，最后可得： c0 c1 c2 c3 分别为膜层参数确定，x z是出射导纳的参数 薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 可见势透射率不仅与膜层参数有关还与出射介质有关，分别对，x,z求偏导得到极值： 最大时透射率与出射介质无关 薄