空间载频移相法研究及应用-物理电子学专业毕业论文.docxVIP

VJ V J 571426 摘 要 通过对常用光干涉技术：条纹法、二维傅立叶变换法(FFT)和移相法(PSI) 的介绍、分析和比较，引出了在此基础上发展起来的空间载频移相干涉技术 (SCPS)，它吸收了以上方法的一些优点，是在九十年代出现的一种新的干涉技 术，是时域移相技术到空域的转化应用。在文章中，首先结合空间载频技术和移 相术对空间载频移相法(SCPS)进行了理论说明论证，重点对用于空间移相的 空间载频做了论述；又在理想条件下对不同波面进行了恢复运算，并分析运算中 产生误差的来源，提出不同减少运算误差的方法，推出最佳的处理方法同时得到 了满意的结果，从而验证在理想条件下的可行性；最后通过处理带有量块信息 的实际干涉图，同时结合使用一定的图像处理技术，恢复出量块表面的面形分布 及其研合面分布，并提取出量块表面PV值和RMS值，验证了空间载频移相法 在实际干涉图处理中的可行性和有效性。 关键词： 移相干涉术，二维FFT，空间载频移相法，量块，图像处理 AbstractIn Abstract In comparisons with fringe method，phase shiRing interferometry(Psl3 and two dimensional FFT about interferometry,the spatial—carrier phase shifting(SCPS)，a new interferometry proposed in 1990’s，is introduced that it is used in spatial phase-measurement interferometry from temporal phase shifting interferometry．On the one hand，it Call absorb the advantages，oN the other hand，avoid the disadvantages of them possibly In this paper,at first．the theory is analyzed depending on the spatial—carrier and PSI；Secondly,compeer simulations deal with the different wave front mathematics model to validate its theoretic feasibility under ideal condition， and the paper focuses on the influence of major error sources on the results of phase calculations using the most popular algorithms．So the better method to calculate the phase is got；At last，it is applied to measure gauge block and get the wave front， parameters of gauge block and gauge block’s surface The result got by SCPS is allowed to argue the ability of SCPS to process the actual interferogram． Keywords：Phase shifting interferometry(PSI)，Two dimensional FFT, Spatial—carrier phase shifting(SCPS)method，Gauge block，Image process． 硬士论文 硬士论文 空间载频移相法研究及应用 绪论 1．课题的研究背景 光学干涉计量方法和干涉仪是以光的波长为计量单位的一种高精度、高灵敏 度的计量测试方法和仪器131，它在光学测量中有广泛的应用。干涉图是干涉仪所 输出的信息，干涉条纹是干涉场中光程差相同点的轨迹，在光学测量中根据干涉 条纹的形状、方向、疏密度、颜色以及条纹移动等情况，就可测量与光程差有关 的被测光学量(面形、角度误差、折射率均匀性、棱镜与透镜的波相差等等)。 干涉计量测试是通过干涉图的识别与分析实现的，它有着多信息量，非接触，高 精度等特点。在仪器灵敏度、测量精度等方面干涉仪普遍优于其它光学测量仪器， 所以是高精度光学测量仪器中常用的重要仪器。干涉图的识别与分析是干涉计量 发展的一个前沿学科，如何正确和精确分析，识别干涉图以及从中提取有用