粗糙度和尖峰高度对粗糙铜晶圆表面化学反应动力学参数的影响.pdf

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２７ ４ Ｖｏｌ．２７ Ｎｏ．４ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１４ ８ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ａｕｕｓｔ ２０１４ ｇ ： ／ ｄｏｉ１０．３９６９ ．ｉｓｓｎ２０１４．０４．００９ ｊ 粗糙度和尖峰高度对粗糙铜晶圆表面化学反应 动力学参数的影响 ， １ １ １ １ １２ 李 炎 ，刘玉岭 ，牛新环 ，王傲尘 ，李洪波 　 （ 河北工业大学 微电子研究所，天津 ； 河北联合大学 信息工程学院，河北 唐山 ） １． ３００１３０ ２． ０６３０００ 摘 要：根据液固化学反应特性和欧几里得有效面积公式，建立了适用于粗糙晶圆表面的化学反应动力学 　 方程，得到了不同晶圆表面的化学反应速率常数和化学机械平坦化（ ）前后晶圆质量差。根据晶圆表面 ＣＭＰ 不同位置的 （ ） 拟合直线斜率和截距的平均值，得到了每个晶圆表面的分形维数与尺度系 ｌ ＲＭＳｈｅｉｈｔ ｌ狓 ｇ ｇ ｇ 数，进一步得到了铜膜化学反应分级数。通过分析晶圆表面分形维数对化学反应动力学参数的影响，可以得 出：当表面分形维数为 时，铜膜的化学反应分级数为 ，此时铜膜的络合反应过程中的所有瞬时反应 ２．９１７ １ 数量达到最小值。最后的验证试验表明：晶圆表面分形维数越大， 后尖峰消除量越大，即铜膜表面化学 ＣＭＰ 反应速率越快；晶圆表面分形维数越小， 后粗糙度下降越明显，即铜膜表面化学反应均匀性越好。 ＣＭＰ 关键词：质量作用定律；动力学方程；分形维数；均方根高度；粗糙度 中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＧ１７５ Ａ １００７９２８９２０１４０４００５８０６ 　　　 　　　 犈犳犳犲犮狋狊狅犳犚狅狌犺狀犲狊狊犪狀犱犘犲犪犽犎犲犻犺狋狊狅狀狋犺犲犆犺犲犿犻犮犪犾犚犲犪犮狋犻狅狀犓犻狀犲狋犻犮狊 犵 犵 犘犪狉犪犿犲狋犲狉狊狅犳犚狅狌犺犆狅 犲狉犠犪犳犲狉犛狌狉犳犪犮犲 犵 狆狆 ， １ １