空间相移干涉技术分析-光学专业毕业论文.docxVIP

repetitive results is less than 0.02λ, so the system can be used in the measurement of microsurface profile and has good stability. After analyzing the error sources, it was indicated that the error of phase-shifting and the error of carrier are main errors of this system. KEY WORDS：phase-shifting interferomtery metrology; spatial phase-shifting, two step phase-shifting; microsurface profile measurement 目 录 摘 要 I ABSTRACT II 目 录III 第一章 绪 论1 1.1 课题的研究背景1 1.2 空间相移干涉技术及其发展2 1.3 本文的研究意义和主要工作3 1.4 本文的结构4 第二章 空间相移干涉理论研究6 2.1 相移干涉测量的基本原理6 2.2 典型的空间相移干涉系统7 2.2.1 多相机空间相移系统7 2.2.2 单相机空间相移系统9 2.2.3 几种方案的比较14 2.3 相位提取算法14 2.4 本章小结18 第三章 基于两步相移法的双通道相移干涉系统设计20 3.1 偏振相移干涉原理20 3.2 基于两步相移法的双通道相移干涉系统设计22 3.3 本章小结26 第四章 相移干涉图像处理技术研究27 4.1 空间一致性标定27 4.1.1 径向载频标定法29 4.1.2 标定实验34 4.2 相位提取算法36 4.3 相位滤波技术39 4.4 相位解包裹41 4.5 本章小结43 第五章 基于两步相移法的双通道相移干涉系统测量实验44 5.1 实验光路44 5.2 实验系统的标定46 5.2.1 图像位置的标定46 5.2.2 相移单元的标定47 5.3 实验数据采集与分析50 5.4 误差分析51 5.5 本章小结53 第六章 总结与展望54 6.1 工作总结54 6.2 工作展望54 参考文献56 发表论文和参加科研情况说明60 致 谢61 第一章 第一章 绪 论 第一章 第一章 绪 论 PAGE PAGE 13 PAGE PAGE 10 第一章 绪 论 1.1 课题的研究背景 光学干涉测量技术是公认的检测光学表面形貌最为有效的方法之一,具有精 度高，灵敏度高，实时快速和非接触等优点，测量精度可达到光波长量级，甚至 更高,因此,被广泛地应用于光学高精密测量领域[1]。干涉测量系统通过对干涉图 像进行分析和识别,从而实现有用信息的提取，获取与光程差相关的多种物理量， 结构简单，成本低，是现代精密测试工作中最为常用的重要仪器。 最早出现的光学干涉测量仪采用几何光学测量方法，这种方法精度比较低, 随后,在此基础上发展起来一种光学干涉条纹观测法，原理是通过检测样品表面 与标准表面间干涉条纹的形状和间距来判断样品表面面形,测量精度达到了光波 的波长量级，但仍限制在二分之一个波长内。相位干涉测量技术[2-3]的出现使光 学干涉测量技术进入了一个崭新的阶段。相位测量技术能够对在被测量区域上进 行等精度测量，同时能够自动分析条纹图信息，具有自动化程度高、精度高、速 度快等特点，因此得到了广泛应用。 相位测量技术主要分为条纹中心法[4]、相移干涉法[5]、傅立叶变换法[6]和外 差法[7]等。条纹中心法主要通过对条纹级数和条纹中心进行判别提取，进而获得 待测物理量分布，但条纹强度易受背景和噪声的影响，提取精度低，而且自动化 程度不高；时间外差法是在两干涉光波之间引入一个频率差，则干涉域中的干涉 相位转化为拍频信号，因此两点之间的相位差可以通过两个光电探测器和电子相 位计进行测量。这种方法具有高精度和空间分辨率，但需要有机械部件带动探测 器扫描，系统较复杂，速度受扫描部件的限制。傅立叶变换法只需对一幅图像处 理就可以获得相位信息，速度快，能够用于动态测量，但测量精度受相机分辨率 影响，测量精度有限。在相位测量技术中,应用最为广泛的是相移干涉法，它具 有测量精度高、速度快、抗干扰能力强和自动化程度高等优点，因而在高精度光 学检测中占有重要的地位。这种技术是将数字相移技术引入到干涉计量技术中而 发展起来的，基本原理是:在干涉系统的参考光路中加入精密移相器件,进而在物 光与参考光之间引入有序相位的移动,使两相干光之间产生已知相位差，用数字 相机等