面向角速度传感的高Q微球腔频率快速跟踪锁定技术研究-测试计量技术及仪器专业毕业论文.docxVIP

中北大学学位论文 中北大学学位论文 目 录 HYPERLINK \l _bookmark0 第一章 绪论 1 HYPERLINK \l _bookmark1 1.1 研究背景及意义 1 HYPERLINK \l _bookmark2 1.2 国内外研究现状 4 HYPERLINK \l _bookmark3 1.3 本文主要内容及章节安排10 第二章 谐振式光学陀螺及角速度传感测试系统概述11 2.1 Sagnac 效应 11 2.2 谐振式光学陀螺原理12 2.3 角速度传感测试系统结构及原理13 2.3 本章小结 15 第三章 高 Q 微球腔 16 3.1 锥形光纤-微球耦合结构16 3.2 球腔制备 17 3.3 球腔重要参数计算 19 3.3.1 半高全宽（FWHM） 19 3.3.2 自由谱宽（FSR） 19 3.3.3 品质因子（Q） 19 3.3.4 精细度（F） 20 3.3 本章小结 20 第四章 调制解调技术概述 21 4.1 相位调制解调原理 21 4.2 基于三角波的调制解调特性分析 24 4.3 本章小结 26 第五章 频率快速跟踪锁定技术 27 5.1 频率快速跟踪锁定技术 27 5.1.1 PDH 稳频技术 27 5.1.2 以 PI 控制为核心的频率跟踪锁定技术 28 I 5.1.3 模拟锁频模块结构及原理 30 5.2 关键电路设计 30 5.2.1 三角波发生放大电路 30 5.2.2 透射峰控制电路 33 5.2.3 PI 控制电路 35 5.2.4 加法选择电路 38 5.3 数字 PID 锁频 40 5.4 本章小结 42 HYPERLINK \l _bookmark4 第六章 微球腔频率快速跟踪锁定的测试 46 HYPERLINK \l _bookmark5 6.1 转台测试系统 46 HYPERLINK \l _bookmark6 6.2 频率锁定测试 47 HYPERLINK \l _bookmark6 6.3 锁频稳定性测试 47 HYPERLINK \l _bookmark6 6.4 本章小结 47 HYPERLINK \l _bookmark4 第七章 工作总结与展望 46 HYPERLINK \l _bookmark5 7.1 工作总结 46 HYPERLINK \l _bookmark6 7.2 工作展望 47 HYPERLINK \l _bookmark7 参考文献 48 攻读硕士学位期间发表论文情况 53 致 谢54 II PAGE PAGE 1 第一章 绪论 1.1 研究背景及意义 对基本物理量的精确测量及基本物理效应的验证，一直是人类探索宇宙、揭 示自然规律的基本途径[1]。2004 年美国宇航局发射的引力探测卫星 B（GP-B） 如图 1.1，利用四个超高精度陀螺仪来测量时空曲率，该曲率曾被科学家认为是 由于超大质量物体转动而导致的，由此验证了爱因斯坦广义相对论的正确性和精 确性[2]。 图 1.1 引力探测 B 卫星位于地球引力场中 作为对载体姿态、速率等惯性参量精确测量的陀螺仪，已广泛应用于载人航 天、矿山开采、石油钻探、隧道工程、水利工程等领域。在国家深空探测、武器 精确制导、北斗导航等重大计划和工程的带动下，未来陀螺惯性器件的发展更趋 向于集成化、小型化、高稳定性、高精度、抗高过载等性能 [3]。 新型的超流陀螺、核磁共振陀螺、原子陀螺，相对于传统机械陀螺，虽然体 积小很多，很适合当前日趋小型化的市场，但是均存在有理论和技术上难以突破 的瓶颈问题，在高精度的角速率测量应用上还有很大的距离；备受关注的 MEMS 陀螺的灵敏度和分辨率等指标受质量缩小的影响，也有很多问题亟待解决[4-5]。 基于 Sagnac 效应的光学陀螺，以其高灵敏度、启动时间快、寿命长、微小体积、 高可靠性等特点成为国内外研究机构的研究热点[6]。 1913 年，法国科学家 Georges Sagnac 在探测天体运动效应时，首次进行了 干涉测量实验，观测角速度和相移的相互关系，提出了 Sagnac 效应[7-8]，奠定了 光学陀螺发展的理论基础。20 世纪 60 年代，微光源的产生，使小体积、高性能 分光谱的产生成为可能，为在受限体积内精确计量提供了光源[9-11]，为 Sagnac 效 应用于陀螺中提供了研究基础；1962 年，美、英、法、前苏联几乎同时开始了 利用激光的 Sagnac 效应进行方位探测的研究，由此环形激光陀螺诞生。 1976 年 R.W. Shorthill 等人提出了相比于激光陀螺结构更加简单、动态范围 更大、抗电磁干扰能力更强的基于 Sagnac 效应的干涉式光纤陀螺（IFOG）[12]。 但受光源条件的限制以及