洁净室外气空调箱特性与节能之研究.PPT

2010/11/22 中央空調系統流程圖 冰水系統架構 5℃冰水系統控制 9℃冰水系統控制 製程冷卻水系統 何謂無塵室 無塵室是一個能夠控制微塵粒子的房間，並且其是採 用將引進及產生的污染微塵粒子數降至最低的原則來 建造及使用，而且包含其它相關參數（溫度、溼度、 壓力、照度、噪音、地板導電度等）皆必須加以控制 在必要之範圍。 無塵室應用 工業潔淨室（ICR） 所注重的是Particle的控制 生化潔淨室（BCR） 所注重的是微生物的抑制 無塵室應用 無塵室等級定義 藉著量測每立方英呎之空氣中所含有小於或等於 0.5μm粒徑的微塵粒子數。 例所謂class 100的潔淨室是指每立方英呎之空氣中所含有0.5μm粒徑的微塵粒子數應小於100個。 FS209D FS 209 D 需求條件 Clean room 相關法規比較 無塵室風側流程圖 外氣空調箱控制 各段閥體控制 外氣空調箱功用 壓力控制: 根據COMMON CHAMBER或室內之靜壓，調整變頻器輸 出頻率做PID控制。 溫溼度控制: 根據外氣條件,出風溫溼度或室內溫溼度利用冰水盤管，加 熱器，熱水盤管，加濕器....等設備達到預設值輸出。 外氣微塵粒之預處理: 空氣經由空調箱多道濾網或室內濾網控制逹到潔淨度之需求 氣態分子之控制: 空氣經由 Air washer 洗滌，化學濾網或特殊處理將有害的 氣態分子分離處理後輸送至室內。 Dry coil 閥體控制 AHU一般控制 AHU 恆溫恆濕控制 AHU 區域及日夜間節能控制 VAV箱體作動原理說明 VAV終端風箱因氣流通過，使得風壓開關測得風壓。測得風壓訊號傳至驅動器，由驅動器可程式換算流過VAV終端風箱風量。此時驅動器可程式得到流過VAV終端風箱風量，與驅動器設定風量比較，使流過VAV終端風箱風量維持在設定下。 溫控器感測室內溫度，通知驅動器開關風門，保持室溫維持恆定。 SH = C ? Q ? ΔT 改變ΔT：定風量系統 改變 Q ：變風量系統 同時改變ΔT及Q，容易產生控制之追逐現象(HUNTING)，控制邏輯上不 採用，但可分階段以不同時間及控制差異來改變，如VAV FAN POWER BOX先改變Q維持恒溫，至低負荷時固定Q以維持最小室內循環量。 VAV(變風量風箱) 風壓感測器 驅動器 謝謝聆聽敬請指教 * 高科技廠房空調系統控制 High Tech Fab HVAC System Control 魏 志 昌 Chih-Chang Wei 大綱 冰水系統概述 無塵室理論概述 無塵室空調控制 一般區域空調控制 冷卻水塔控制 溫水系統 冰機熱回收出水溫度 溫水氣動閥狀態　 溫水系統熱回收控制 釀造業、無菌包裝食品及飲料 食品飲料工業 人工心臟瓣膜、心導管系統 醫學設備 無菌製藥、無菌處理 製藥業 抗生素產品、遺傳學工程 生物科技業 透鏡、照相軟片、雷射設備 光學工業 迴轉儀、精密軸承、CD播放器 精密機械業 電腦記憶體與控制等的IC生產製造 半導體業 電腦、電子元件、液晶螢幕 電子業 產品 產業 700 100,000 NA NA NA 100,000 70 10,000 NA NA NA 10,000 7 1000 NA NA NA 1000 NA 100 300 750 NA 100 NA 10 30 75 350 10 NA 1 3 7.5 35 1 ≧ 5um ≧ 0.5um ≧ 0.3um ≧ 0.2um ≧ 0.1um 等級 Particle/ft3 溼度 45 ~ 30 ±10 100K 100K 10K 10K 亂流式 ≧20 次/hr 1K 1K 100 100 10 10 1,080~ 1,620 層流式 0.35~0.55 m/s ±2.8 22.2 19.4 ~ 25 1.25 1 0.5 μｍ 1 誤差值 推薦值 範圍 mmAq Particles/ft3 μｍ 照度 lux 風速 溫度℃ 壓差 粒子數目 size Class 3 0 100 ISO 2 10 M1 35 1 1000 M1.5 1 ISO 3 353 10 10,000 M2.5 10 ISO 4 100 M2 0.5μｍ /m3 0.5μｍ /ft3 0.1μｍ /m3 SI 英制 0 0 10 ISO 1 1,000 M3 3,530 100 100,000 M3.5 100 ISO 5 10,000 M4 35,300 1,000 1,000,000 M4.5 1,000 ISO 6 100,000 M5 353,000 10,000 M5.5 10,000