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现代先进制造技术前沿——超精密机械加 现代先进制造技术前沿 ——超精密机械加工 李世杰 刘艳 ( 河北工业大学 天津 300130) 摘 要 论述了现代超精密加工技术在航空、 航天、 机械和电子等工业的地位和重要作 用, 并对超精密加工技术的各组成部分的特点和发展现状作了简要介绍; 在此基础上阐述了 超精密加工技术的条件及其最新发展动态; 分析了超精密加工机理及理论的研究状况; 给出 了超精密加工技术的发展和研究方向。 最后得出结论, 只有加速进行精密加工理论研究, 并 使之尽快应用于实际生产, 才能使我国的先进制造技术水平得到迅速提高。 关键词 超精密加工技术、 现代制造技术、 加工精度、 加工机理 0 前言 现代制造技术主要是以提高精度和生产率为目的。 在提高生产率方面, 自动化程度的改善是各国 致力发展的方向。近年来, 从 CN C 到 C IM S 发展迅速。在提高精度方面, 从精密加工发展到超精密加 工, 其精度从微米级到亚微米级乃至纳米级, 其应用范围日趋广泛, 在高技术领域和军事工业以及民 用工业中都有广泛应用。 以先进的蜗轮螺旋桨发动机及航天和航空用齿轮减速器为例, 当采用新式端面弯曲叶片时, 如将 剖面形状精度提高 5 倍 (形状公差 60Λm ) 表面粗糙度改善 2. 5 倍 (R a 0. 5Λm ) , 压气机效率可得到惊人 提高, 再如航天和航空用齿轮减速器其承载能力的提高主要取决于齿轮本身的精度, 特别是齿轮螺旋 角以及齿形修正等。 从中可以看出, 在国际竞争发展中, 很多具有战略重要性的先进技术产品, 其公 差均落在精密和超精密加工的范围内。 在生产过程中, 精密加工对提高产品的制造精度具有以下几个方面的意义: (1) (2) (3) (4) 提高装配水平, 实现自动化装配; 提高零部件的互换性; 采用高精度机床, 改善质量控制以降低废品率; 提高零部件的耐磨性, 提高组装密度。 1974 年, C IR P 与日本精密机械学会联合兴办的国际生产工程会议针对当前制造精度及其发展趋 势提出纳米技术这一概念, 它是材料、 纳米级加工、 测量和控制技术的统一体。 作为纳米技术主体的 纳米加工技术, 是指加工精度或尺寸为 0. 1～ 100m m 量级的制造技术的总称。 是属于超精密加工的范 畴, 是超精密加工领域的前沿课题, 是先进制造业最主要的发展方向之一, 是体现一个国家制造技术 高低和参与国际市场竞争实力的标志。 收稿日期: 1999—12—10 李世杰 男 1957 年 副教授 第 2 期 李世杰等现代先进制造技术前沿—超精密机械加工33 第 2 期 李世杰等 现代先进制造技术前沿—超精密机械加工 33 1 超精密加工技术的组成 1. 1 超精密切削加工 超精密切削加工的特点是采用金刚石刀具。 因为其与有色金属亲和力小, 硬度、耐磨性及导热性非 常优越, 其刃口、圆弧半径 0. 01Λm , 可加工出优于 R a 0. 01Λm 的表面粗糙度。 超精密切削加工要求高 精度的基础元部件 (如空气轴承、气浮导轨等)、高精度的定位检测元件 (如光栅、激光检测系统等) 及高 分辨率的微进给机构。 机床本身采用恒温、隔振及净化措施, 被加工工件必须质地均匀且没有缺陷。 如 加工无氧铜, 表面粗糙度可达到 R a 0. 05Λm , 加工 800m m 的非球面透镜, 形状精度可达 0. 2Λm 。 超精密 切削加工技术在航空、航天、光学及民用等领域的应用十分广泛。 1. 2 超精密磨削及研磨抛光 超精密磨削: 超精密磨削技术是在一般精密磨削基础上发展起来的。 超精密磨削技术不仅要提供 镜面级的表面粗糙度, 还要保证获得精确的几何形状和尺寸。 目前, 超精密磨削的加工对象主要是玻 璃、陶瓷等硬脆材料, 磨削加工的目标是得到 3～ 5nm 的平滑表面, 作为纳米磨削加工, 要求机床具有 高精度和高刚度, 同时砂轮的选择也十分重要, 这将关系到硬脆材料可否进行延性域磨削 (D u c t ile G r in d in g )。纳米磨削技术对要求高疲劳强度零件材料的加工是重要而有效的加工技术。此外, 砂轮的 修整技术对超精密磨削加工也相当关键。 当前的超精密磨削技术能加工出 0. 01Λm 圆度, 0. 1Λm 尺寸精度和 0. 005Λm 件, 平面超精密磨削能加工出 0. 03Λm ?100m m 2 的平面。 表面粗糙的圆柱形零 超精密研磨与抛光: 超精密研磨包括机械研磨、化学机械研磨、浮动研磨、弹性发射