利用AFM实现动态电场加工的研究-测试计量技术及仪器专业论文.docxVIP

摘 摘 要 I纳米技术是一门基础研究与应用探索相结合的前沿学科，其最终的目标是在 纳米尺度上制造出特定功能的产品。纳米加工是纳米技术的核心，也是实现下一 代纳米器件的关键。白八十年代以来，以扫描隧道显微镜为代表的扫描探针显微 镜得到迅速发展，其特点是分辨力高、可在真空、大气和液体环境下工作，因此 在纳米技术领域得到了广泛应用。在将扫描探针显微镜(SPM)作为观测仪器的 同时，研究者也发现了它对样品表面的加工能力，扫描探针加工技术也就在此基 础上应运产生。由于扫描探针加工技术能够有效地实现单原子、分子操纵和纳米 级图形结构的刻蚀，因而得到了广泛的关注。 基于AFIVl的纳米加工技术作为一项新技术，在理论和实验方面还不完善。 本课题对大气状态下AFM动态电场加工进行了系统的研究，探索一种稳定的加 工方法，为下一步单电子器件和其它纳米器件的研究奠定基础。以下是论文的主 要研究内容： ／4、 1)构建一套动态纳米加工系统，完成点、线结构的加工，开发辅助加工软件， 对加工过程进行监控； 2)分析外加动态信号下探针和样品间的电场分布情况，为AFM电场加工机理 的分析提供理论依据； 3)研究动态电场下AFM诱导氧化的动力学过程； 4)利用AFM进行静态和动态纳米加工，比较加工结果，并进行理论分析； 5)对加工结果提出评价方法并进行误差分析。 关键词：扫描探针显微镜，原子力显微镜，纳米科技，纳米加工，动态电场，诱导氧化 ABSTRACTNanotechnology ABSTRACT Nanotechnology is a novel science and technology based on the basic stIldy and application research，whose final aim is to fabricate specified funcfional products on the nanometer scale．Nanofabrication technology is the key point of nanotechnology, and the achievement of nanometer device depends on its enhancement and innovation． The research and exploration on the fabrication technology of nanometer scale structures in air is necessary for making the nanometer device more practical．Since the invention of scanning tunneling microscope(STM)，scanning probe microscope (SPM)has been developed rapidly．For its advantages，such髂high resolution and the ability of working in vacuum，air and liquid，SPM is widely used in the field of nanotechnology．While researchers take SPM硒measuring tools。the nanometer scale modifications produced by SPM tip on sample surfaces are found．Therefore，the nanofabrication technology baSed on SPM comes into being．Since SPM is proven to be effective tool to achieving atomic and molecular manipulation and patterning on the nanometer SCale．the fabfication technique haS attracted attention of a large number of research groups in the world． As a novel technology,the nanofabrication technology baSed on AFM has some shortcomings in theory and experiment method．The aim of this dissertation is to explore a steady and repetitive