大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准的试验研究-计量学报.PDF

第３９卷　第６期 计　　　 量　　　学　　　报 　 Ｖｏｌ．３９，№６ ２０１８年　１１月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　 Ｎｏｖｅｍｂｅｒ，２０１８ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１８．０６．０４ 大范围二维纳米位移台的控制及 非线性校准的实验研究 １，３ ２ ３ １ ３ ３ ３ 周　奇 ，　刘炳锋 ，　连笑怡 ，　陈本永 ，　黄　鹭 ，　李　琪 ，　高思田 （１浙江理工大学 机械与自动控制学院，浙江 杭州３１００１８； ２北京信息科技大学 仪器科学与光电工程学院，北京 １００１９２； ３中国计量科学研究院，北京 １０００２９） 摘要：搭建了基于激光干涉仪测量原理的三轴微位移测量系统，对大范围二维纳米位移台的控制及非线性校 准进行实验研究。介绍了双频激光干涉仪测量系统的构成；编写了纳米位移台的控制程序和激光干涉仪数据采集 程序；阐述了位移台的非线性校准方法，并通过实验对比了多项式三阶拟合和三阶分段拟合的差别，验证了校准方 法的准确性。实验表明：使用三阶分段拟合的校准方法效果更好，校准前，ｘ轴的最大非线性误差为４０５２ ｍ，ｙ轴 μ 的最大非线性误差为２９２７ ｍ；校准后，ｘ轴的最大非线性误差为１５ｎｍ，ｙ轴的最大非线性误差为１７ｎｍ，仅为原 μ 始非线性误差的１％。 关键词：计量学；纳米位移台；非线性校准；激光干涉仪 中图分类号：ＴＢ９２　　　　文献标识码：Ａ　　　　文章编号：１０００１１５８（２０１８）０６０７７１０６ ＥｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌＲｅｓｅａｒｃｈｏｎｔｈｅＣｏｎｔｒｏｌａｎｄＮｏｎｌｉｎｅａｒＣａｌｉｂｒａｔｉｏｎ ｏｆＬａｒｇｅｓｃａｌｅＴｗｏｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌＮａｎｏｍｅｔｅｒＤｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔＳｔａｇｅ １，３ ２ ３ １ ＺＨＯＵＱｉ ，　ＬＩＵＢｉｎｇｆｅｎｇ，　ＬＩＡＮＸｉａｏｙｉ，　ＣＨＥＮＢｅｎｙｏｎｇ， ３ ３ ３ ＨＵＡＮＧＬｕ，　ＬＩＱｉ，　ＧＡＯＳｉｔｉａｎ （１ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇａｎｄＡｕｔｏｍａｔｉｏｎ，ＺｈｅｊｉａｎｇＳｃｉｔｅｃｈＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｈａｎｇｚｈｏｕ，Ｚｈｅｊｉａｎｇ３１００１８， Ｃｈｉｎａ；２ＳｃｈｏｏｌｏｆＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｔｉｏｎＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＢｅｉｊｉｎｇＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＳｃｉｅｎｃｅ＆ ＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１００１９２，Ｃｈｉｎａ；３ＮａｔｉｏｎａｌＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００２９，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｏｓｔｕｄｙｔｈｅｃｏｎｔｒｏｌａｎｄｎｏｎｌｉｎｅａｒｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎｏｆａｌａｒｇｅｓｃａｌｅｔｗｏｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｎａｎｏｍｅｔｅｒｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ｓｔａｇｅ，ａｍｉｃｒｏｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓｙｓｔｅｍｗｈｉｃｈｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｍｅａｓｕ