薄膜力学性能.pptxVIP

第四章 薄膜力学性能部分第四章 薄膜的力学性能4.1薄膜的弹性性能4.2薄膜的残余应力4.3薄膜的断裂韧性4.4薄膜的硬度4.5薄膜的摩擦、磨损和磨蚀 定 义 用物理的、化学的、或者其他方法，在金属或非金属基体表面形成一层具有一定厚度(小于)的不同于基体材料且具有一定的强化、防护或特殊功能的覆盖层。脆性薄膜韧性薄膜脆性基底脆性基底脆性薄膜韧性薄膜韧性基底韧性基底 分 类按 力 学 性质分 类4.1 薄膜的弹性性能一、薄膜的弹性常数 弹性模量是材料最基本的力学性能参之一，由于薄膜的某些本质的不同之处，其弹性模量可能完全不同于同组分的大块材料。三点弯曲 如图所示，加载和挠度的测量均在两支点中心位置，两支点的跨距为 ，载荷增量 与中心挠度增量 的关系为(4.1)为薄板抗弯刚度。 单面镀膜的膜基复合薄板的抗弯刚度 为 (4.2)式中 和 分别是基体部分和薄膜部分对 轴的惯性矩， (4.3) 实验中测出载荷增量与中心挠度增量的关系曲线（近似线性），求出其斜率，用(4.1)式求出薄板的抗弯刚度，若基体弹性模量已知，则利用(4.2)式可求得薄膜的弹性模量。压痕法 纳米压痕技术可用以测定薄膜的硬度、弹性模量以及薄膜的蠕变行为等，其理论基础是Sneddon关于轴对称压头载荷与压头深度之间的弹性解析分析，其结果为(4.4)这里， 为压头的纵向位移， 为试验载荷曲线的薄膜材