离子交换玻璃基光波导研究-物理电子学专业论文.docxVIP

I I 摘 要 随着人们对信息量以及信息传输速度的要求不断提高，对集成化、低成本的全 光器件的需求越来越明显。平板光波导器件体积小、结构紧凑，便于集成，满足了 光通信的需求。离子交换技术制备玻璃基光波导工艺简单、易于操作，而且制得的 波导适于与光纤耦合、损耗小、性能可靠，因而被广泛应用。 本文面向用于生产玻璃波导的离子交换技术的研究和实验，主要完成了以下工 作： 理论方面，较为全面的介绍了离子交换的基本理论。针对许多典型离子交换过 程无法用简化的扩散方程得到解析解的情况，在原有理论的基础上，对离子交换浓 度扩散方程用数值分析法进行了求解，从而得到了方程更为通用的解的形式。根据 推导出的差分公式对一些离子交换过程进行了模拟，得到了离子浓度分布曲线。 实验工作主要进行了混合熔盐离子交换制作光波导的研究。在 380 oC 温度下， 选取不同的玻璃基片（BK7 和 K9 玻璃），改变离子交换源（纯 KNO3、AgNO3:KNO3 =1:1000 和 5:1000），离子交换时间进行多组对比实验。试验结果表明 BK7 玻璃有更 好的光学透过性，更适合做离子交换光波导的基底。控制混合熔盐的配比和离子交 换的时间，可以得到特定表面折射率和扩散深度的波导。用混合熔盐进行离子交换 可以在较短时间内，得到较大的表面折射率。 采用先进行离子交换，后刻蚀波导图形的方法，用混合熔盐离子交换实验中制 得的平面波导作为基底，制备了直波导和1?8 MMI 型光功分器，实现了器件的通光 功能，结果表明此方法制得的多波导器件更易与光纤阵列进行耦合。 关键词：集成光学 离子交换 平面波导 数值解法 II II Abstract In modern society, as people need more information and faster transmission, the demands of high integrated and low cost optical applications are more and more clear. Planar optical waveguide components satisfy these demands because of their small bulk, compact structure and the ease of their integration into the system. Ion exchange technology is easy to operate. The abroad application of ion-exchanged waveguide is borne out by suitable coupling to fiber, low cost, ease of operation and stabilization. This thesis is completed in three aspects about ion-exchanged technology and experiment: About theory, introducing the planar waveguide theory and discussing the guide modes in electromagnetic theory. Because many process of ion exchange can not get analysis solution, this paper analyzes diffusion equation with numerical solution, simulates some process of ion-exchange and gets the cation concentration profile . The experiment is mainly about fabricating ion-exchanged optical waveguide with mixed salts. Comparing the experiment results with different mixed concentration proportion (pure KNO3 、 KNO3 、 AgNO3:KNO3 =1:1000 、 5:1000) different glass substrates(BK7 and K9) and different diffusion time at the temperature of 380 oC . The results of experiments