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用椭圆偏振仪测量薄膜厚度 电科091 刘涛 教学目的与要求 （1）了解薄膜的厚度测量的基本原理。 （2）利用椭圆偏振光消光法，测定透明薄膜的厚度。 教学重点、难点： ? 　本节课教学重点：测量薄膜厚度。 ? 　本节课教学难点：实现椭圆偏振光消光。 实验原理 有一束自然光通过起偏器后，变成了线偏振光，再经过一个 波片，变成了椭圆偏振光。这样的椭圆偏振光入射到待测的薄膜表面上时，反射光的偏振状态发生了变化。我们测量这种变化，就可以计算出待测薄膜的厚度。 椭偏方程与薄膜折射率和厚度的测量 ?图1所示为一光学均匀和各向同性的单层介质膜，它有两个平行的界面。通常，上部是折射率为n1的空气(或真空)．中间是一层厚度为d折射率为n2的介质薄膜，下层是折射率为n3的衬底，介质薄膜均匀地附在衬底上，当一束光射到膜面上时，在界面1和界面2上形成多次反射和折射，并且各反射光和折射光分别产生多光束干涉．其干涉结果反映了膜的光学特性。 设φ1表示光的入射角，φ2和φ3分别为在界面1和2上的折射角．根据折射定律有 n1sinφ1=n2sinφ2＝n3sinφ3 光波的电矢量可以分解成在入射面内振动的P分量和垂直于入射面振动的s分量．若用Eip和Eis分别代表入射光的p和s分量，用Erp及Ers分别代表各束反射光K0，K1，K2，…中电矢量的p分量之和及s分量之和，则膜对两个